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關(guān)注:679
Semishare SCG系列高低溫真空探針臺(tái)
產(chǎn)品品牌
semishare(森美協(xié)爾)
規(guī)格型號(hào)：
SCG-Auto-O-2 / SCG-Auto-O-4
發(fā)貨期限：
面談天
庫(kù) 存：
5
產(chǎn) 地：
中國(guó)
詳情請(qǐng)咨詢趙經(jīng)理 15323433820
應(yīng)用方向：高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。
特點(diǎn)：
可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~450K）
半自動(dòng)批量測(cè)試
防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
支持光纖光譜特性測(cè)試
兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)
器件的高頻特性(支持最高67GHz頻率)
探針熱沉設(shè)計(jì)
LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試
自動(dòng)流量控制
材料/器件的IV/CV特性測(cè)試
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| 半自動(dòng)高低溫真空探針臺(tái) |
| 型號(hào) |
SCG-Auto-O-2 |
SCG-Auto-O-4 |
| 外形 |
1500mm長(zhǎng)*1200mm寬*800mm高 |
1900mm長(zhǎng)*1400mm寬*900mm高 |
| 重量 |
約300KG |
約350KG |
| 電力需求 |
AC220V,50~60HZ |
| 樣品臺(tái) |
尺寸 |
2英寸 |
4英寸 |
| 樣品固定方式 |
真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 |
| 樣品臺(tái)移動(dòng) |
2*2英寸，電動(dòng) |
4*4英寸，電動(dòng) |
| 樣品臺(tái)移動(dòng) |
1um |
1um |
| 正壓環(huán)境 |
5-10個(gè)大氣壓最高真空 |
| 真空度 |
10^-10torr |
| 光學(xué)特性 |
顯微鏡行程 |
2*2英寸 |
4*4英寸 |
| 放大倍數(shù) |
變焦：7:1分辨率4μm (放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡（20X~1000X） |
| 真空腔觀察窗尺寸 |
2inch |
4inch |
| CCD像素 |
50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） |
| 溫控規(guī)格 |
制冷方式 |
液氮/液氦 |
| 控制方式 |
開循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制 |
| 控溫范圍 |
77K~450K/4.2K~450K |
| 控溫分辨率 |
0.001K |
| 溫度穩(wěn)定性 |
4.2K ±0.2K 77K ±0.1K |
| 373K ±0.08K 473K ±0.1K |
| 823K ±0.2K(可選） 973K ±1.0K(可選） |
| 常溫到8K冷卻時(shí)間 |
90min |
| 8K到常溫升溫時(shí)間 |
90min |
| 常溫開始的升溫時(shí)間 |
100℃ 150℃ 200℃ |
| 30min 50min 80min |
| 加熱電源 |
LVDC 低壓直流 |
| 傳感器 |
硅二極管 |
| 傳感器數(shù)量 |
樣品臺(tái)，防輻射屏，探針臂各一個(gè) |
| 功率 |
50W/100W/500W/1000W |
| 點(diǎn)針規(guī)格 |
探針數(shù)量 |
2個(gè)/4個(gè)/6個(gè) |
| 探針調(diào)節(jié) |
真空波紋管外部調(diào)節(jié)，三軸機(jī)械手 |
| 點(diǎn)針精度 |
10微米/2微米/0.7微米 |
| X-Y-Z行程 |
25mm-25mm-25mm |
| 漏電精度 |
10pA/100fA |
| 接口形式 |
三軸/SMA/K/光纖接口 |
| 軟件功能 |
晶圓Map編輯 |
| 測(cè)試儀器加載 |
| 自動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制 |
| 運(yùn)動(dòng)視覺補(bǔ)償 |
| 數(shù)據(jù)采集分析 |
| 參數(shù)一體化顯示 |
| 可選附件 |
防震桌 |
Chuck運(yùn)動(dòng)裝置 |
| 多級(jí)壓縮制冷機(jī) |
電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng) |
| 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 |
超高溫升級(jí)選件 |
| 射頻部件 |
超高真空升級(jí)選件 |
| 超高壓力升級(jí)選件 |
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