Probe hover control  探頭懸停控制 MPI 探針懸?？刂?PHC 允許手動(dòng)控制接觸和分離距離, 可以精確地控制與微米反饋探針探針的晶片/墊定位. 易于使用通過(guò)在關(guān)鍵設(shè)置和探頭更換操作期間最小化錯(cuò)誤來(lái)保證最安全的操作。

雙前門(mén)通道和獨(dú)特的卡盤(pán)設(shè)計(jì), 使150、200、300毫米硅片碎片或小到 4 * 4 毫米 IC容易裝卸程序。

輔助卡盤(pán)都位于前面, 可以很方便地裝載/卸載。沒(méi)有推出階段允許用于校準(zhǔn)和探針卡清潔的簡(jiǎn)單自動(dòng)化方法。

Integrated hardware control panel  集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探頭系統(tǒng)中, 根據(jù)數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶(hù)交互設(shè)計(jì), 提供更快、更安全、更方便的系統(tǒng)控制和測(cè)試操作. 鍵盤(pán)和鼠標(biāo)是戰(zhàn)略定位控制軟件, 也將控制基于 windows 的儀器。

由于智能冷水機(jī)組集成, TS3000 系列為節(jié)省實(shí)驗(yàn)室寶貴空間提供了最佳的足跡。

MPI和ERS設(shè)計(jì)了新的300毫米熱夾頭技術(shù)家庭，提供了無(wú)與倫比的熱彈性，減少了60%的浸泡時(shí)間，以及市場(chǎng)上最大的各種熱范圍。

減少過(guò)渡時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體環(huán)境下更容易測(cè)試，以及現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)性是主要熱卡盤(pán)系統(tǒng)的附加值。

熱系統(tǒng)可以通過(guò)使用全集成觸摸屏顯示，置于方便的位置，在操作前快速操作和即時(shí)反饋。

這些卡盤(pán)包含了專(zhuān)利的AC3冷卻技術(shù)和自人類(lèi)管理系統(tǒng)，使用循環(huán)冷卻空氣凈化MPI保護(hù)環(huán)境，從而大大減少了市場(chǎng)上其他系統(tǒng)的30% - 50%的空氣消耗。

獨(dú)特的STM系統(tǒng)在測(cè)試測(cè)量結(jié)果時(shí)防止門(mén)打開(kāi)是安全的，在任何情況下都不可能在負(fù)的卡盤(pán)溫度中意外開(kāi)啟任何系統(tǒng)。此外，智能露點(diǎn)控制程序避免了冷測(cè)時(shí)的靈敏度。系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)測(cè)CDA或氮的流動(dòng)。如果流量中斷或不足，STM自動(dòng)將卡盤(pán)轉(zhuǎn)換為安全模式，在露點(diǎn)以上盡快加熱卡盤(pán)。MPI STM是通過(guò)自動(dòng)維護(hù)安全的測(cè)試環(huán)境，使TS 3000 -SE測(cè)量更安全、更可靠、更方便的特性。

可選的儀表架可減少電纜長(zhǎng)度，增加測(cè)量的動(dòng)態(tài)性和方向性。

MPI自動(dòng)化工程探測(cè)系統(tǒng)由一個(gè)獨(dú)特的和革命性的,多點(diǎn)觸摸操作SENTIO軟件套件簡(jiǎn)單直觀(guān)的操作將節(jié)省大量的訓(xùn)練時(shí)間,滾動(dòng)變焦,模仿現(xiàn)代智能移動(dòng)設(shè)備和移動(dòng)命令可以讓每個(gè)人都成為一個(gè)專(zhuān)家在幾分鐘.Switching活動(dòng)應(yīng)用程序與應(yīng)用程序的其余部分是一個(gè)簡(jiǎn)單的手指掃描的問(wèn)題。

對(duì)于射頻應(yīng)用，不需要切換到另一個(gè)軟件平臺(tái)——MPI射頻校準(zhǔn)軟件程序QAlibria完全集成到感知器中，通過(guò)遵循單一的操作概念方法，便于使用。