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TS2000-SE主機(jī)

ERS AirCool制冷低溫系統(tǒng)主機(jī)

測(cè)量差異
MPI公司出品的TS2000-SE 型8寸半自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)是市場上有史以來第一次為200毫米自動(dòng)化工程探測(cè)系統(tǒng)在集成創(chuàng)新的特點(diǎn)專門設(shè)計(jì)。這些特性是納入MPI ShielDEnvironment™為超低噪音,非常準(zhǔn)確和高度可靠的DC/CV, RF和高功率測(cè)量。
The TS2000-SE from MPI is the first ever 200mm automated engineering probe system on the market integrating innovative features specifically designed to reduce the cost of test. These features are incorporated into the MPI ShielDEnvironment™ for ultra-low noise, very accurate and highly reliable DC/CV, RF and High Power measurements.

關(guān)鍵特征

一、Automated Single Wafer Loader（自動(dòng)單片晶圓裝載）

可以非常方便、直接且直觀地將8寸、6寸、4寸等晶圓直接放在裝載臺(tái)上，蓋上暗箱后，全自動(dòng)裝載樣片。
二、ShielDEnvironment™（市場上最高屏蔽規(guī)格的微暗箱）

三、Safety Test Management STMTM Option （安全測(cè)試管理系統(tǒng)）
四、Hot/cold wafer swaps at set temperatures （待高低溫樣片互換系統(tǒng)）

一般的加熱、降溫過程是非常緩慢的，當(dāng)客戶對(duì)一片晶圓加熱后，如果需要換片，那需要重復(fù)經(jīng)歷冷卻、再升溫的過程，非常耗時(shí)。 MPI的晶圓熱/冷互換載臺(tái)可以讓客戶省去反復(fù)升降溫的等待，自動(dòng)將樣片裝載出。

五、Vertical Control Environment™ (VCE) （側(cè)面輔助光路系統(tǒng)）

當(dāng)客戶的樣片是柔性、超薄膜、射頻電極等等的時(shí)候，我們提供了側(cè)面輔助光路系統(tǒng)來直接觀察探針與樣片表面的接觸情況。配合上Z方向自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡，可以使得樣片自動(dòng)測(cè)試過程中，探針與樣片始終保持最佳接觸。
六、ERS patented AC3 cooling technology incorporated
（ERS冷卻專利技術(shù)）

最新的ERS專利技術(shù)，可以快速降溫的同時(shí)，減少50%左右的用氣量，極大限度地節(jié)約后續(xù)使用成本。

七、Thermal Chuck Operation （加熱、冷卻功能顯示和操作功能）

提供專用觸摸顯示屏來顯示溫度值，并可以進(jìn)行升降溫和保溫時(shí)間控制。
九、MPI iMAG® Optics （XYZ全自動(dòng)對(duì)焦顯微鏡）

MPI自主研發(fā)全系列顯微鏡，這款A(yù)MZ12是在XYZ上進(jìn)行全自動(dòng)運(yùn)行，自動(dòng)對(duì)焦的顯微鏡?？梢缘玫绞袌錾献畲蟮膱D像放大能力。

配合上MPI專利的SENTIO軟件，可以對(duì)樣片進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)測(cè)試。也可以在測(cè)試過程中自動(dòng)XYZ方向補(bǔ)差。
十一、RF Tips （最新設(shè)計(jì)的RF針尖結(jié)構(gòu)）

八、Integrated Active Vibration Isolation （內(nèi)置主動(dòng)隔震臺(tái)）
十、Software Suite SENTIO® （自動(dòng)測(cè)試軟件）

MPI總計(jì)有40位軟件工程師歷時(shí)3年，不斷更新完善，終于面世了這款市場上唯一可觸摸屏直接操作并且可以和顯微鏡、樣品臺(tái)等均可聯(lián)動(dòng)。有效提高操作效率和降低使用的復(fù)雜性。
（左：MPI的RF探針 / 右：Cascade的RF探針）

MPI自主設(shè)計(jì)的RF探針采用最新MEMS技術(shù)加工，針尖是向前方呈45°角。因此可以非常直觀地獲悉扎針位置和深度情況。這樣可以極大延長探針使用壽命的前提下還能獲得最佳的接觸位置。反觀傳統(tǒng)的RF探針，必須憑經(jīng)驗(yàn)和感覺才能知曉扎針落點(diǎn)和接觸情況。

MPI 半自動(dòng)8寸直流/射頻探針臺(tái)

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