服務(wù)熱線
4001027270
PS4L 半自動探針臺
SemiProbe是美國一家領(lǐng)先的專業(yè)探針臺研發(fā)與制造公司,擁有多項專利技術(shù),提供完整的所有探針測試的產(chǎn)品與解決方案。其產(chǎn)品包括全自動,半自動,手動探針臺,MEMS測試探針臺,雙面測試,超低溫,高真空探針臺等等。SemiProbe 設(shè)計制造創(chuàng)新性模組化探測檢測系統(tǒng),客戶遍及世界各地,其中包括大專院校、政府科研實驗室、各類半導(dǎo)體制造公司、涉及微機械、納米技術(shù)、光電技術(shù)、光伏技術(shù)等領(lǐng)域,為科研以及制造提供經(jīng)濟高效、實用、擴展性強的探測系統(tǒng)。同時SemiProbe還為用戶提供強有力的技術(shù)支持,可針對用戶的具體應(yīng)用需求,定制相對應(yīng)的產(chǎn)品和技術(shù)方案。
我們有可以解決您所面臨問題的一套最好的方案,PS4L 半自動探針臺是基于SemiProbe可適應(yīng)性機構(gòu)專利研發(fā)的一套系統(tǒng),與傳統(tǒng)檢測系統(tǒng)不同,PS4L 半自動探針臺所有的基礎(chǔ)組件:基座、平臺、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動、光學(xué)部件、操縱裝置等,都是可以更換的。這些特征使得PS4L 半自動探針臺可適應(yīng)不同應(yīng)用需求,并且成為節(jié)省經(jīng)費的最佳選擇。這種獨特的設(shè)計能夠準確滿足客戶的要求,更重要的是,PS4L系統(tǒng)能夠進行現(xiàn)場升級,以適應(yīng)環(huán)境測試條件的改變。PS4L系統(tǒng)的設(shè)計理念,與傳統(tǒng)檢測設(shè)備相比,能夠讓客戶節(jié)約更多時間,更多成本。
憑借60年的實踐經(jīng)驗,美國品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案,以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用最少的資金獲得最新的技術(shù)、更及時的響應(yīng)市場需求。
SemiProbe產(chǎn)品的獨特優(yōu)點有:
1.SemiProbe獨家專利技術(shù)的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進行升級,且升級可在客戶現(xiàn)場進行,機臺不需返廠。其中PS4L系列產(chǎn)品,可以在PS4L基礎(chǔ)平臺上,由手動探針臺升級為半自動探針臺,半自動探針臺升級為全自動探針臺,或者由6''升級為8'',8''升級為12'',增加密閉測試倉,增加高低溫等等。這些獨特的優(yōu)點,目前在業(yè)界獨此一家。2.SemiProbe的產(chǎn)品,全部都在美國本土設(shè)計制造,質(zhì)量有保證。
3.SemiProbe的另外一個優(yōu)點是直流探針座和RF探針座通用,用戶只要一種探針座,換上直流或RF探針,即可做不同的測試,既方便又節(jié)省成本。目前業(yè)界其他公司的產(chǎn)品,多數(shù)直流探針座和RF探針座是不一樣的,并且價格昂貴,無法通用。其超高精度的亞微米級探針座,保證了高端精密測試的需求。
1.可滿足最大18英寸的晶圓基底的測試要求,并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.主要應(yīng)用領(lǐng)域:器件性能、MEMS、光電子學(xué)、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關(guān)領(lǐng)域。
3.可做直流和微波測試。
4.系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場升級。
5.可增加高低溫及屏蔽系統(tǒng)
6.手動探針測試方式,扎針對準方式靈活。
7.可方便搭載loadpull, 激光測振及電學(xué)信號測試等不同的外圍設(shè)備。
8.可搭載各種規(guī)格探卡。
9.主要部件可依據(jù)實際要求定制。
PS4L 半自動探針臺
SemiProbe的PS4L 半自動探針臺是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計最明顯和最靈活的半自動探針臺。它采用了SemiProbe獨家專利技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計,提供了無與倫比的靈活性和大大地為客戶節(jié)省了資金費用。PS4L 半自動探針系統(tǒng)可滿足客戶對精準的規(guī)格參數(shù)的要求。
產(chǎn)品特征和優(yōu)勢:
1.150mm半自動系統(tǒng)可升級到200mm
2.可選尺寸:100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12)
3.所有關(guān)鍵部件都是可以更換的,這樣確保了系統(tǒng)可再配置符合現(xiàn)在和以后的各種應(yīng)用和預(yù)算要求。
4.軟件和硬件模塊提供了永久性的現(xiàn)場升級
主要應(yīng)用:
設(shè)備特性,MEMS,光電,光伏,HF /微波,失效分析,研究,材料科學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù): | |
尺寸: | 750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W,H,L) – with optics |
重量: | 95 Kg (210 lbs.) |
夾盤平臺X-Y移動: | Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 50 mm/sec (max) Resolution: 0.5 μm Repeatability: +/- 1.0 μm A ccur acy: +/- 2 μm Planarity: +/- 10 μm over travel r ang e Nema 17 stepper motor Optical linear encoder |
夾盤平臺Z移動: | Z Travel: 10 mm Resolution: 1.0 μm Repeatability: +/-2.5 μm |
Theta移動: | T r a v el: +/-10 degrees (User specified) Resolution: 0.29 arc-secs, (0.0018 deg r ees) |
夾盤: | V acuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and cus t om Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 200 mm Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available Planarity: 8 μm |
壓盤: | Aluminum with stainless steel top 360 degree manipulator placement Manipulator fixation – magnetic, vacuum |
壓盤移動: |
Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t able A djus t able: Coarse – 25 mm, Fine – 6 mm |
顯微鏡安裝/移動: | Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm |
光學(xué): | Stereo Zoom, Zoom T ube, A-Zoom or Compound Microscope |
其它工具: | Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A V acuum: 23 Hg or -0.8 bar |
購買之前,如有問題,請向我們咨詢