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應(yīng)用方向：PD/APD芯片篩選測(cè)試，GaAs射頻芯片S參數(shù)測(cè)試，MEMS晶圓管芯篩選測(cè)試等。

APS-2000半自動(dòng)測(cè)試探針臺(tái)針對(duì)8英寸晶圓片測(cè)試而設(shè)計(jì)的一體化在片測(cè)試解決方案，同時(shí)可提供射頻微波、高壓大電流測(cè)量能力。探針臺(tái)載片臺(tái)平面采用鋁合金鍍金保證測(cè)試過程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散，同時(shí)提供低漏電噪聲的保護(hù)及屏蔽環(huán)境。為了保證高壓測(cè)試的人身安全，APS-2000探針臺(tái)采用了安全互鎖系統(tǒng)機(jī)構(gòu)和測(cè)試系統(tǒng)級(jí)聯(lián)。

AutoMap探針臺(tái)控制軟件簡(jiǎn)單直觀控制載片臺(tái)XYZ三向的步進(jìn)移動(dòng)，wafer圖形分布描述，芯片圖像對(duì)準(zhǔn)，坐標(biāo)定位等功能，同時(shí)配置經(jīng)典的四向迷你位置操作鍵盤。

ATE2.0晶圓參數(shù)自動(dòng)化測(cè)試軟件可控制多種測(cè)試儀器，包括半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀等，支持TPS200、APS-1500、FAPS-1500自動(dòng)化測(cè)試探針臺(tái)，實(shí)現(xiàn)晶圓在片的自動(dòng)化批量篩選測(cè)試。

主要功能：

WaferMap圖描述：采用工業(yè)相機(jī)，通過圖像算法實(shí)時(shí)掃描Wafer并對(duì)Die進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)

Chuck控制：AutoMap軟件或經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動(dòng)

Wafer圖形模式：圓形、陣列、環(huán)形、探邊多種形式式，可自定義學(xué)習(xí)模式。

Die坐標(biāo)查詢：實(shí)時(shí)顯示更新Die相對(duì)坐標(biāo)

打點(diǎn)方式：噴墨，離線打點(diǎn)、異步打點(diǎn)

測(cè)試接口：TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)

支持探針：直流鎢探針、RF探針、高壓探針，大電流探針

支持儀器：Keysight 源表、網(wǎng)絡(luò)分析儀、LCR表；Keithley 2400,6487,2600B等

支持軟件：ATE2.0參數(shù)測(cè)試軟件

半自動(dòng)探針臺(tái)

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