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特點(diǎn)和用途

SEMISHARE SH型號(hào)探針臺(tái)具有優(yōu)異的機(jī)械系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，符合人機(jī)工程學(xué)，并具有很多升級(jí)功能。該設(shè)備可以廣泛用于集成電路，LED，LCD，太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

1. 同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK

2. 20X~4000X 光學(xué)顯微放大

3. 顯微鏡X-Y無后座力移動(dòng)

4. 顯微鏡具有快速傾仰功能

5. 可以使用探針卡測(cè)試

SH探針臺(tái)能夠勝任的測(cè)試有：

序號(hào)	根據(jù)測(cè)試樣品分類	序號(hào)	根據(jù)應(yīng)用分類
1	晶圓測(cè)試	1	射頻測(cè)試
2	LED測(cè)試	2	高溫環(huán)境測(cè)試
3	功率器件測(cè)試	3	低電流（100fA 級(jí)）測(cè)試
4	MEMS測(cè)試	4	I-v/c-v/p-iv測(cè)試
5	PCB測(cè)試	5	高壓，大電流測(cè)試
6	液晶面板測(cè)試	6	磁場(chǎng)環(huán)境測(cè)試
7	太陽能電池片測(cè)試	7	輻射環(huán)境測(cè)試
8	材料表面電阻率測(cè)試	8

規(guī)格
Chuck		8" 不銹鋼，真空吸附型，獨(dú)立開關(guān)控制
Chuck X-Y軸行程，精度		8" x8"，10um，帶鎖定
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度		0~360 度
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度微調(diào)精度		0.01°
Chuck快速升降		4mm
Chuck微調(diào)升降		4mm ，1um精度
Chuck 平整度		5um
針座平臺(tái)		C型設(shè)計(jì)，可放置12個(gè)SS 型針座，可擴(kuò)展為O型平臺(tái)
針座平臺(tái)平整度		5 um
顯微鏡X-Y軸行程，精度		2" x2"，10um
顯微鏡Z軸行程，精度		2"，細(xì)調(diào)精度0.1um

需求
電力	220 VAC, 60Hz

真空	-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸
850mm長(zhǎng) x 660mm寬 x 700mm高（帶顯微鏡）
重 100 Kg（帶顯微鏡）
可選附件
激光切割
探針卡夾具
加熱臺(tái)
防震桌
顯微鏡氣動(dòng)升降裝置
顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè)
光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件
射頻測(cè)試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測(cè)試
高壓測(cè)試
CCD視頻系統(tǒng)
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck

SH系列探針臺(tái)---型號(hào)SH

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