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感應耦合等離子刻蝕 刻蝕代加工 感應耦合等離子刻蝕 刻蝕代加工
刻蝕GaN、Si、AlGaInP、AlGaN、SiO2、Si3N4等材料
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Decap即開封,也稱開蓋,開帽,指給完整封裝的IC做*局部腐蝕,使得IC可以暴露出來,同時保持芯片功能的完整無損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-frame不受損傷, 為下一步芯片失效分析實驗做準備,方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI),Deca...
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