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晶圓刻號(hào)打碼機(jī)

產(chǎn)品介紹

是專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專(zhuān)用設(shè)備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點(diǎn)陣字符，

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動(dòng)生產(chǎn) 可加工2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶圓

工業(yè)級(jí)激光器，穩(wěn)定可靠，免維護(hù)

光束質(zhì)量好，標(biāo)識(shí)精細(xì)，可讀性好

操作界面友好，使用方便，

無(wú)需外接水冷機(jī)

應(yīng)用范圍：

2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號(hào)、打碼。

技術(shù)規(guī)格項(xiàng)目單位數(shù)值

最大加工尺寸晶圓尺寸 inch 6英寸

激光器功率激光器出口處 w 20瓦

激光器波長(zhǎng) 紅外光纖激光器 nm 1064納米

定位精度 mm 0.05毫米

重復(fù)精度 mm 0.02毫米

振鏡最大掃描速度 mm/s 7000毫米/秒

振鏡類(lèi)型數(shù)字/模擬高速數(shù)字式振鏡

最大負(fù)載 Kg 1.5千克

協(xié)作機(jī)械手最大臂長(zhǎng) mm 400毫米

重復(fù)精度 mm 正負(fù)0.03毫米

Z向行程 mm 210微米

電源 AC 兩相220~240V 50HZ

最大耗電量 Kw 1.5千瓦

單獨(dú)接地電阻 Ω 小于4歐

共用接地電阻 Ω 小于1歐

壓縮空氣供給壓力 MPa 0.5~0.8兆帕

廠(chǎng)務(wù)真空供給 Kpa -0.6千帕

其他規(guī)格排風(fēng)口口徑 mm 50毫米

晶圓激光刻號(hào)機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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