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英國(guó)Durham Microwriter ML3 無(wú)掩膜光刻機(jī)
產(chǎn)品品牌 英國(guó)Durham
庫(kù) 存： 1
產(chǎn) 地： 全國(guó)
英國(guó)Durham Microwriter ML3 無(wú)掩膜光刻機(jī)
詳細(xì)介紹
小型臺(tái)式無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)
小型臺(tái)式無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)是英國(guó) Durham Magneto Optics 公司專為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，為微流控、 SAW 、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。
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傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應(yīng)商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計(jì)通常需要經(jīng)常改變。無(wú)掩膜光刻技術(shù)通過(guò)以軟件設(shè)計(jì)電子掩膜板 的方法，克服了這一問(wèn)題。與通過(guò)物理掩膜板進(jìn)行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過(guò)電腦控制一系列激光脈沖的開(kāi)關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
Microwriter ML 3 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm X 70cm X 70cm)，無(wú)掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點(diǎn)。采用集成化設(shè)計(jì)，全自動(dòng)控制，可靠性高，操作簡(jiǎn)便。適用于各種實(shí)驗(yàn)室桌面。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
Focus Lock 自動(dòng)對(duì)焦功能
Focus lock 技術(shù)是利用自動(dòng)對(duì)焦功能對(duì)樣品表面高度進(jìn)行探測(cè)，并通過(guò) Z 向調(diào)整和補(bǔ)償，以保證曝光分辨率。
光學(xué)輪廓儀
Microwriter ML3 配備光學(xué)輪廓探測(cè)工具，用于勻膠后沉積層，蝕刻層， MEMS 等前道結(jié)構(gòu)的形貌探測(cè)與套刻。 Z 向最高精度 100 nm ，方便快捷 。
標(biāo)記物自動(dòng)識(shí)別
點(diǎn)擊“ Bulls-Eye” 按鈕， 系統(tǒng)自動(dòng)在 顯微鏡圖像中識(shí)別光刻 標(biāo)記。標(biāo)記 物被識(shí)別后，將 自動(dòng)將其移動(dòng) 到顯微鏡中心位置。
別直寫前預(yù)檢查
軟件可以實(shí)時(shí) 顯微觀測(cè)基體 表面，并顯示 預(yù)直寫圖形 位置。通過(guò)實(shí)時(shí)調(diào)整 位置、角度，直到設(shè)計(jì)圖形按要求與已有結(jié)構(gòu) 重合，保證直寫準(zhǔn)確。
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