網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 其它光刻設(shè)備 »ST-1500i投影光刻機
    •
    包郵 關(guān)注:606

    ST-1500i投影光刻機

    產(chǎn)品品牌

    國產(chǎn)-中科院

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌：國產(chǎn)-中科院

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     

    ST-1500i投影光刻機

    ST-1500i 投影光刻機
    ST-1500i 投影光刻機ST-1500i 投影光刻機

    主要技術(shù)指標：

    曝光場面積：10mm×10mm

    分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）；

    套刻精度：1μm

    物鏡倍率：1：10

    掩模尺寸:4 inch、5 inch

    基片尺寸：2 inch、3 inch、4 inch、6 inch

    工件臺運動范圍：X：150mm、 Y：150mm；

    工件臺運動定位精度：±0.65μm；


    技術(shù)特點：

    采用CCD檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。10倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約10mm×10mm 采用專利技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明，進口精密光柵、進口電機、進口導(dǎo)軌、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng)2英寸、3英寸、4英寸、6英寸基片。具備對準和套刻功能，操作方便、實用性強。

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號