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美OAI光刻機Model 200, 800MBA, 5000, 2000
產(chǎn)品品牌
美OAI
庫 存:
1
產(chǎn) 地:
全國
美OAI光刻機Model 200, 800MBA, 5000, 2000
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詳細(xì)介紹 |
美國 OAI 光刻機:
Model 2000 手動曝光機,實驗室用 ,
Model 800MBA 雙面曝光機, 實驗室及小批量生產(chǎn),
Model 5000 全自動曝光機,生產(chǎn)型
Model 2000 全自動邊緣曝光系統(tǒng),生產(chǎn)型
OAI 200型光刻機是一種具有成本效益的高性能掩模對準(zhǔn)器,采用經(jīng)過行業(yè)驗證的組件,使OAI成為光刻設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者。 200型是臺式面罩對準(zhǔn)器,需要最小的潔凈室空間。它為研發(fā),或有限規(guī)模,試點生產(chǎn)提供了經(jīng)濟的替代方案。利用創(chuàng)新的空氣軸承/真空吸盤調(diào)平系統(tǒng),襯底快速平穩(wěn)地平整,用于平行光掩模對準(zhǔn)和在接觸曝光期間在晶片上的均勻接觸。該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)一微米分辨率和對準(zhǔn)精度。
對準(zhǔn)模塊具有掩模插入件組和快速更換晶片卡盤,其便于使用各種襯底和掩模,而不需要用于重新配置的特殊工具。對準(zhǔn)模塊包括X,Y和Z軸的微米。
200型掩模對準(zhǔn)器具有可靠的OAI紫外光源,其在近紫外或深紫外中提供準(zhǔn)直的紫外光,使用功率從200至2000瓦的燈。雙傳感器,光學(xué)反饋回路連接到恒定強度控制器,以提供在所需強度的±2%內(nèi)的曝光強度的控制??梢钥焖俸腿菀椎馗淖僓V波長。該掩模Aligner是一種靈活,經(jīng)濟的解決方案,適用于任何入門級掩模對準(zhǔn)和UV紫外光照射應(yīng)用.
OAI在MEMS和微流體裝置方面的產(chǎn)品主要包括 :
光刻機
光源
以工作穩(wěn)定,出光效率高,高均勻性和散射角小而著稱。且可提供 20” 以上的大面積光源。
光功率計及分析儀
OAI光功率計以其測量精度,重復(fù)性著稱。測量數(shù)據(jù)符合美國NIST標(biāo)準(zhǔn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻能量測量及控制。
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