網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 其它光刻設(shè)備 »俄羅斯 Optosystem準(zhǔn)分子激光器CL7000
    •
    包郵 關(guān)注:552

    俄羅斯 Optosystem準(zhǔn)分子激光器CL7000

    產(chǎn)品品牌

    俄羅斯 Optosystem

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌：俄羅斯 Optosystem

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     

    準(zhǔn)分子激光器： CL7000,   俄羅斯 Optosystem

          準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。


    CL7000系列技術(shù)參數(shù)：

    型號

    ArF

    KrF

    XeCl

    波長

    193 nm

    248 nm

    308 nm

    管材料

    陶瓷

    預(yù)電離

    火花

    標(biāo)準(zhǔn)脈沖能量

    250 mJ

    400 mJ

    300 mJ

    平均功率
    CL 7020
    CL7050
    CL 7100


    5 W
    10 W
    20 W


    8 W
    20 W
    35 W


    6 W
    15 W
    25 W

    最大重復(fù)頻率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    20 Hz
    50 Hz
    100 Hz

    脈寬

    17 ns

    20 ns

    20 ns

    脈沖穩(wěn)定度

    sigma < 2%

    光斑大小

    6 x 20 mm

    6 x 21 mm

    7 x 22 mm

    光束發(fā)散角

    1.5 x 4.5 mrad

    時間抖動

    < 2 ns

    尺寸, (重量)

    1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

    冷卻
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    風(fēng)冷
    水冷（水流< 1L/min）
    水冷（水流< 3L/min）

    功率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
    220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
    380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA

    氣體

    1 premix cylinder

    控制接口

    RS 232, DOS/Windows



     

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號