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    包郵 關(guān)注:539

    俄羅斯 Optosystem準(zhǔn)分子激光器CL7000

    產(chǎn)品品牌

    俄羅斯 Optosystem

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：俄羅斯 Optosystem

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     

    準(zhǔn)分子激光器： CL7000,   俄羅斯 Optosystem

          準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長(zhǎng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。


    CL7000系列技術(shù)參數(shù)：

    型號(hào)

    ArF

    KrF

    XeCl

    波長(zhǎng)

    193 nm

    248 nm

    308 nm

    管材料

    陶瓷

    預(yù)電離

    火花

    標(biāo)準(zhǔn)脈沖能量

    250 mJ

    400 mJ

    300 mJ

    平均功率
    CL 7020
    CL7050
    CL 7100


    5 W
    10 W
    20 W


    8 W
    20 W
    35 W


    6 W
    15 W
    25 W

    最大重復(fù)頻率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    20 Hz
    50 Hz
    100 Hz

    脈寬

    17 ns

    20 ns

    20 ns

    脈沖穩(wěn)定度

    sigma < 2%

    光斑大小

    6 x 20 mm

    6 x 21 mm

    7 x 22 mm

    光束發(fā)散角

    1.5 x 4.5 mrad

    時(shí)間抖動(dòng)

    < 2 ns

    尺寸, (重量)

    1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

    冷卻
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    風(fēng)冷
    水冷（水流< 1L/min）
    水冷（水流< 3L/min）

    功率
    CL 7020
    CL 7050
    CL 7100


    220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
    220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
    380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA

    氣體

    1 premix cylinder

    控制接口

    RS 232, DOS/Windows



     

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