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    包郵 關(guān)注:722

    SB-402曝光機(jī)（雙面光刻機(jī)）

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-雙面光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    國產(chǎn)

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：國產(chǎn)

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-雙面光刻機(jī)

     

    SB-402曝光機(jī)（雙面光刻機(jī)）
    SB-402雙面曝光機(jī)（光刻機(jī)）

    產(chǎn)品描述

    SB-402雙面曝光機(jī)（光刻機(jī)）主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等制作的雙面對準(zhǔn)和曝光。最大兼容4英寸晶圓。

     

    主要技術(shù)特點(diǎn)
    對準(zhǔn)工作臺(tái)：
    高精度薄型精密雙層三維對準(zhǔn)工作臺(tái)，采用交叉滾柱V形導(dǎo)軌副和θ向超薄軸承及中心滑塊結(jié)構(gòu)，保證了工作臺(tái)的直線性和旋轉(zhuǎn)精度。
    機(jī)械手機(jī)構(gòu)：
    機(jī)械手采用直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，具有高的定位精度和重復(fù)精度。
    上版架系統(tǒng)：
    上掩模版的升降導(dǎo)軌選用THK可調(diào)分離型直線導(dǎo)軌，驅(qū)動(dòng)采用高分辨率的數(shù)顯微分頭，從而保證兩掩模版的重復(fù)精度和定位精度。
    對準(zhǔn)觀察系統(tǒng):
    雙光路結(jié)構(gòu)的臥式分離視場顯微鏡，可以獲取高清晰的圖像同時(shí)兼容CCD成像液晶顯示功能
    電氣控制系統(tǒng)：
    整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制，提供運(yùn)行狀態(tài)顯示及多種檢測功能，易于操作，控制精度高，性能穩(wěn)定。
    曝光系統(tǒng)：
    上、下兩套獨(dú)立的紫外光曝光系統(tǒng)，采用先進(jìn)的結(jié)構(gòu)方案，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

    產(chǎn)品參數(shù)

    對準(zhǔn)工作臺(tái)指標(biāo):

     X向行程：±4mm

     Y向行程：±4mm

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