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    VPG 1600 終極型大尺寸掩膜版生產(chǎn)設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Heidelberg

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Heidelberg

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-其它光刻設(shè)備

     
     
    詳細(xì)介紹
    終級(jí)型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具：VPG1600

           新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器，是海德堡科技在大型光學(xué)系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用獨(dú)家專利的技術(shù)“寬闊的平行化曝光制程技術(shù)”而開發(fā)出來的。

       VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產(chǎn)的可靠而又經(jīng)濟(jì)的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產(chǎn)業(yè)，彩色濾光片產(chǎn)業(yè)，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關(guān)產(chǎn)業(yè)。另外，VPG還可以提供優(yōu)異的影像質(zhì)量與注記差異（實(shí)際掩膜板與資料的差異）。

       VPG 設(shè)計(jì)有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺(tái)，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置，可配置半自動(dòng)或者全自動(dòng)的上下版裝置，并且可以選擇最高輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細(xì)化的寫入步距，可以確保優(yōu)越的粗糙度和連接邊界。平臺(tái)位置自動(dòng)校正技術(shù)，可以進(jìn)行優(yōu)異的自我校正，以達(dá)到精準(zhǔn)的定位效果。
     

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