服務(wù)熱線
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* 桌面化的小型設(shè)備 * 光學(xué)直寫(xiě)定位精度優(yōu)于1nm * 特征結(jié)構(gòu)間隙可達(dá)100nm * 可用于非平表面加工 * 自帶溫度控制保證高精確度 * 用戶友好的全自動(dòng)軟件控制 * 系統(tǒng)性能穩(wěn)定,零維護(hù) |
適用領(lǐng)域
微納器件加工 |
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光學(xué)微透鏡制作 |
原型機(jī)設(shè)計(jì) |
構(gòu)建特殊結(jié)構(gòu) |
DaLI結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖 |
xy雙向AOD共同定位.png |
AOD在DaLI 中的作用 |
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——控制光束偏轉(zhuǎn) |
AOD(聲光偏轉(zhuǎn)器)可控制直寫(xiě)光斑在焦平面上以0.1nm的步長(zhǎng)移動(dòng),使得DaLI可以獲得更加平滑、陡直的邊緣結(jié)構(gòu)和更小的特征結(jié)構(gòu)間隙。 |
DaLI對(duì)AOD的技術(shù)優(yōu)化
通過(guò)AOD控制曝光量時(shí),AOD對(duì)于控制信號(hào)的響應(yīng)是非線性的。通過(guò)與門(mén)的控制優(yōu)化設(shè)計(jì),DaLI可以使AOD的輸出線性度高達(dá)99%以上。 激光束入射角度的偏轉(zhuǎn)會(huì)導(dǎo)致曝光光強(qiáng)的變化(可高達(dá)30%),這對(duì)于建立精細(xì)結(jié)構(gòu)是非常不利的。AOD同樣存在這個(gè)問(wèn)題。因此Aresis在DaLI中增加了field flatten的功能,可以使得激光在ADO的整個(gè)工作區(qū)域內(nèi)掃描時(shí)的光強(qiáng)保持不變,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光劑量的準(zhǔn)確控制。 |
AOD輸出線性度優(yōu)于99% |
AOD掃描光場(chǎng)均一度優(yōu)于99% |
AOD定位分辨率優(yōu)于0.1nm帶來(lái)的技術(shù)優(yōu)勢(shì) | 兩種尺寸直寫(xiě)工具隨意切換 |
A. 任意平滑、銳利的結(jié)構(gòu)邊緣 不同點(diǎn)距獲得的結(jié)構(gòu)平滑度差異 |
小光斑直寫(xiě)工具用于對(duì)精度要求較高的圖形構(gòu)建 1微米直寫(xiě)工具可獲得的最小孔洞(0.9微米) 大光斑直寫(xiě)工具適用于大面積高速直寫(xiě) 光斑直徑3μm;Relay length 20μm 陡直平滑的邊緣不更好的深寬比(優(yōu)于10:1) |
B. 可高分辨調(diào)整的結(jié)構(gòu)間距 150nm結(jié)構(gòu)間隙 |
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C. 亞微米級(jí)精細(xì)結(jié)構(gòu)的構(gòu)建 約100納米寬的精細(xì)結(jié)構(gòu) |
工作范圍與曝光拼接 |
準(zhǔn)確的圖形結(jié)構(gòu) |
大光斑直寫(xiě)工具單個(gè)工作區(qū)域 為900 μm X 900 μm 小光斑直寫(xiě)工具單個(gè)工作區(qū)域?yàn)?/span>300 μm X 300 μm 工作區(qū)域100mm X 100mm DaLI的軟拼接可以將曝光掃描線延伸到臨近區(qū)域,并梯度降低激光強(qiáng)度(紅線)。在臨近區(qū)域,激光強(qiáng)度梯度增加(藍(lán)線),從而獲得干凈均一的拼接圖案 工作區(qū)域間的平滑過(guò)渡機(jī)制(軟拼接與硬拼接) |
應(yīng)變儀實(shí)刻結(jié)構(gòu) 應(yīng)變儀設(shè)計(jì)圖 |
基材尺寸 | 可達(dá)100 mm x 100 mm (4’’ x 4’’) |
激光波長(zhǎng) | 375 nm |
激光光斑尺寸 (TEM00) | 1 µm (0.04 Mil) and/或 3 µm (0.12 Mil), 用戶可自選 |
激光光斑定位分辨率 | < 1 nm |
激光直寫(xiě)速度 | 可至100 000 spots per second |
圖形尺寸 | 可至 1 µm (0.04 Mil) |
數(shù)據(jù)輸入格式 | DXF, Gerber, BMP |
電源 |
230 V/50 Hz, 100 VA |
設(shè)備尺寸 (W x H x D) | 650 mm x 522 mm x 626 mm (25.6” x 20.6” x 24.6”) |
重量 | 80 kg (176.4 lbs) |
集成攝像頭 | 用于樣品檢測(cè)和校正攝像頭 |
硬件和軟件的要求配置 | Windows 7, 32 bit or Windows XP, 32 bit with service pack 3,1.3 GHz processor or higher, 2 GB RAM (4 GB recommended), 160 MB of available hard-disk space for installtion, screen resolution min.1024*768 pixles (1600 x 1050 recommended) |
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