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    包郵 關(guān)注:2921

    管式擴散氧化退火爐(低壓管式高溫擴散爐)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    捷佳偉創(chuàng)

    庫       存：

    10000

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：捷佳偉創(chuàng)

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

     
    產(chǎn)品描述：

    ·高方阻：140Ω

    ·高均勻性：≤±4％，±2％，±2％（片內(nèi)，片間，批間）

    ·大產(chǎn)能：1000片/舟(DS-300E)，1200片/舟(DS-320)，2.38mm間距

    設(shè)備名稱：管式擴散氧化退火爐（低壓管式高溫擴散爐）

    設(shè)備型號：DOA-300/DOA-320

    設(shè)備用途：主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的摻雜形成PN結(jié)。

    工藝流程：

    石英舟及硅片準(zhǔn)備→插片→上料→選擇工藝運行→進舟→抽真空→升溫穩(wěn)定→通氧→通源→推進→恒溫→出舟→下舟冷卻→測試→卸片      

     技術(shù)特點：

    · MES控制功能。

    · 低壓擴散功能。

    · 防撞舟技術(shù)。

    · 源壓穩(wěn)定技術(shù)。

    · 作適應(yīng)性變更，可兼容硼擴散工藝技術(shù)。

    · 高方阻技術(shù)解決方案。

    · 自動裝卸舟。

    · 具備側(cè)出舟功能（可選）。

    · 智能化控制。

    · 匹配S.C智能化生產(chǎn)管理系統(tǒng)。

    設(shè)備參數(shù)

     

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