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    包郵 關(guān)注:511

    高溫退火爐應(yīng)用領(lǐng)域用于SiC、GaN等的高溫活化退火等工藝

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    青島精誠(chéng)華旗

    規(guī)格型號(hào)：

    高溫退火爐

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：青島精誠(chéng)華旗

    型號(hào)：高溫退火爐

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

    高溫退火爐應(yīng)用領(lǐng)域用于SiC、GaN等的高溫活化退火等工藝
    產(chǎn)品名稱(chēng)： 高溫退火爐    高溫退火爐 name=
    應(yīng)用領(lǐng)域：用于SiC、GaN等的高溫活化退火等工藝
    關(guān) 鍵 字：高溫退火爐、SiC高溫退火爐、碳化硅高溫退火爐
    產(chǎn)品咨詢電話：4008-110044
    產(chǎn)品詳細(xì)描述：

    工藝：用于SiC、GaN等的高溫活化退火等工藝
    晶圓規(guī)格：2”4”6”SiC、GaN等晶圓
    設(shè)備結(jié)構(gòu)：水平/垂直
    工藝溫度：1850/2000℃
    爐體溫度：可達(dá)2000℃或更高
    生產(chǎn)能力：研發(fā)型/小批量，生產(chǎn)型
    設(shè)備特點(diǎn)：
    優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 占地面積小
    靈活多樣的工藝調(diào)整
    半自動(dòng)/全自動(dòng)的選擇
    快速的升降溫：如200℃/min
    極限真空 1 Pa
    壓力控制：如100 Pa至300Pa(或其他要求)
    多種的裝片方式

    極方便的操作、維護(hù)方式
    極低維護(hù)使用成本
    極高的可靠性

    終生的技術(shù)支持！

    青島精誠(chéng)華旗微電子設(shè)備有限公司(青島華旗科技有限公司，建于1993年)，為專(zhuān)業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進(jìn)材料專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)制造廠家。致力于為半導(dǎo)體集成IC電路分立器件、MEMS、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供先進(jìn)的專(zhuān)用設(shè)備，工藝涵蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)（及提純、合成等）、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴(kuò)散（包括退火合金含工藝及快速退火工藝等）、真空燒結(jié)等工藝。半導(dǎo)體工藝設(shè)備覆蓋三代半導(dǎo)體材料--硅、砷化鎵、氮化鎵等，高性能磁性材料真空設(shè)備（釤鈷、釹鐵硼等）。同時(shí)承擔(dān)了部分國(guó)家863項(xiàng)目（如半導(dǎo)體白光照明GaN生長(zhǎng)的HVPE設(shè)備等）及相關(guān)的國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目等。
        青島精誠(chéng)華旗（“華旗科技”）擁有十幾年的專(zhuān)業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專(zhuān)院?？蒲性核?、半導(dǎo)體制造、高性能磁性材料制造的企業(yè)工廠等。
         青島精誠(chéng)華旗（“華旗科技”）擁有精良的科研、設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備協(xié)會(huì)、中國(guó)磁性材料與器件協(xié)會(huì)等多家協(xié)會(huì)會(huì)員單位，承接并出色完成了一系列國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目的專(zhuān)用設(shè)備的設(shè)計(jì)制造。
        2006年通過(guò)GB/T19001-2008(ISO9001:2008)質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
    青島華旗科技廠房

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    提問(wèn):
     

    這個(gè)生產(chǎn)效率多高？？能不能做8寸的？

    gookjll  2017-08-07

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品：

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