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    包郵 關(guān)注:541

    芯片退火爐 金立盾

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    金立盾

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：金立盾

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    芯片退火爐

     

    屏幕快照 2016-02-08 下午1.20.39.png

    ●  用  途：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    GaN芯片退火、合金工藝

    外延片活化工藝

    紅黃光，濕氧氧化工藝

     

    ●  特  點：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    全自動送取料

    溫度快速恢復(fù)

    工藝氣體加熱  

    芯片預(yù)熱功能

    可選配濕氧氧化系統(tǒng)

    可升級為負(fù)壓系統(tǒng)，可抽真空

    PC自動控制

     

     

    ●  技術(shù)指標(biāo)：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    使用溫度范圍

    RT-1100℃

    Waffe尺寸

    2-6英寸

    放片量

    100-200片

    升溫速率

    20℃/min  可調(diào)

    工藝氣體

    N2、O2

    氣體控制

    MFC、氣動閥

    真空機(jī)組（選配）

    干式機(jī)組

    溫度均勻性

    ±1℃（400-800℃）

    控制

    工業(yè)PC

    報警

    溫度、壓力、氣體、動作報警等

    電源

    三相五線、50HZ、380V

     

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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