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    包郵 關(guān)注:1448

    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長(zhǎng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫(kù)       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    德國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥1000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Centrotherm

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長(zhǎng)

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線(xiàn)專(zhuān)為硅-碳化合物（SiC）或鎵-氮化合物（GaN） 設(shè)備的后植入燒結(jié)而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)。Activator 150 可用于多種類(lèi)型爐體， 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐， 且處理靈活性高。centrotherm 的無(wú)金屬加熱裝置的獨(dú)特設(shè)計(jì)允許處理溫度高達(dá) 1850 °C 同時(shí)縮短了工藝循環(huán)時(shí)間。由于占據(jù)空間小、購(gòu)置成本低，所以 Activator 150 可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達(dá) 1850°C

    批量規(guī)模高達(dá) 50硅片（150mm）

    加熱率最高達(dá) 150 K/min

    通過(guò)SiH4可實(shí)現(xiàn)硅“過(guò)壓

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    提問(wèn):
     

    加溫速度是多快??？降溫裝置是什么？有現(xiàn)貨嗎？

    hjool  2017-07-24

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