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    RTA快速退火爐 金立盾

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    金立盾

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：金立盾

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    RTA快速退火爐

     

    屏幕快照 2016-02-08 下午1.29.11.png

    ●  用  途：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    活性退火、合金

    薄膜生成退火

    歐姆電極燒結(jié)

     

    ●  特  點(diǎn)：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    采用紅外測溫方式，快速準(zhǔn)確測溫

    加熱氣氛為真空、氣體、流動氣體等

    可進(jìn)行高速加熱、高速冷卻

    紅外燈管，多溫區(qū)獨(dú)立加熱，功率可調(diào)

    可進(jìn)行大片量Wafer退火工藝

    低功耗，高產(chǎn)能

    可選配機(jī)械手，進(jìn)行連續(xù)式工作

     

     

    ●  技術(shù)指標(biāo)：

    -----------------------------------------------------------------------------------------------

    使用溫度范圍

    RT-1100℃

    Wafe尺寸

    2-6英寸

    放片量

    16片

    升溫速率

    10-150℃/S  可調(diào)

    工藝氣體

    N2

    氣體控制

    MFC、氣動閥

    真空機(jī)組

    選配、干式機(jī)組

    真空度

    10-3Pa（10-5Torr）

    溫度均勻性

    ±3℃（300-800℃）

    控制

    工業(yè)PC

    載料盤

    碳化硅

    報警

    溫度、壓力、氣體、動作報警等

    電源

    三相五線、50HZ、380V

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