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4001027270
用途: 用于方形基片光刻膠涂覆工藝 主要組成部分: 該設(shè)備主要由勻膠單元、光刻膠分配系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成,采用框架 結(jié)構(gòu),外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼護板,無發(fā)塵量且不吸浮塵顆粒,工作方式為手動上下片,自動完成勻膠工藝。 主要特點: ◆適應尺寸:200mm×200mm t=8mm以下方形基片 ◆具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能。 ◆主軸采用德國進口電機及部件 ◆高轉(zhuǎn)速、高精度±1RPM |
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