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品牌: 英文品牌:CHINAPONYTM 中文品牌:中普尼 TM
是行業(yè)內唯一 一家入選“中國品牌大會暨建國六十周年全國品牌盤點表彰盛典”并榮獲"中國半導體行業(yè)影響力十大暢銷品牌"的全球頂級制造商!
CPN-PS系列智能型凈化多工位勻膠機(旋涂系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)與真空系統(tǒng):可四個工位涂膠、凈化等級為美國聯邦標準)--圖1
CPN-PS系列智能型凈化多工位勻膠機是集成電路及半導體件生產過程中涂復光致抗腐蝕劑的專用設備,適用于半導體工藝,制板及表面涂覆等工藝.配有專用高標準凈化臺,勻膠時間和勻膠轉數均勻可調,并配有半導體光電轉數表,具有多工位、高效率、極限轉數高、調速范圍大等特點,主要用于科研和生產工藝線對LSI及其它半導體器件作涂膠之用。
設備中涂膠系統(tǒng)由高智能微型機控制,使四個工位同時工作或分別工作,即各工位的運轉單獨傳動,轉數單獨調節(jié)及單獨顯示。
為保證在涂覆工藝中不飛片,設備中吸頭和真空幫浦中間配有四個電磁閥,保證了吸片的牢固性和可靠性。
設備中配有的專用空氣凈化裝置,使操作區(qū)凈化級別達到百級.
技術參數:
型號與工位數目:
CPN-PS-150/OP型 :一工位----最大能涂覆100(125)毫米直徑的基片
CPN-PS-125/TP型 :兩工位----最大能涂覆100(125)毫米直徑的基片
CPN-PS-100/TP型 :三工位 ----最大能涂覆100毫米直徑的基片
勻膠工位:1-4工位;(工位數目可選)
勻膠時間:1-99秒(連續(xù)可調).精度為 ≤ ±1%.
勻膠轉數:500-8000RPM(連續(xù)可調).精度為≤± 3%.
凈化效果:100級(美國聯邦標準)
操作區(qū)風速:0.3-0.5米/秒
有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流
我們的品質:
1,質量高于行業(yè)標準.
2、提供免費送貨服務,具有良好的售后,24小時響應。
3、客戶滿意度達到98%以上
CHINAPONYTM(中普尼TM)公司的主要原器件均選用上等產品,其整體性能及智能化方面均是國際上領先的,經CHINAPONYTM(中普尼TM)公司科技部多次檢測、實驗、調試、再檢測、量產等苛刻過程,因此受到了國內眾多的高標準、嚴要求的客戶認可,選用率達98%以上。
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