Spin Coater or Spin Processor：勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、勻膜機(jī)、涂膜機(jī)、涂層儀、旋涂儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、旋轉(zhuǎn)涂敷儀、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)、光阻旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)等，主要用于液體、膠體在材料表面高均勻度薄膜的形成。CHINAPONY^TM  公司研發(fā)的Spin Coater、Spin Processor適用于半導(dǎo)體行業(yè)、微電子領(lǐng)域新型材料【硅片、陶瓷、玻璃、載玻片、晶片、砷化鎵、不銹鋼等材質(zhì)基底材料】的制版及表面涂覆、薄膜制備等工藝，應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)等單位作教學(xué)、科研、生產(chǎn)之用，為微電子、光電子及太陽能電池研制領(lǐng)域中不可缺少的關(guān)鍵設(shè)備之一。CHINAPONY^TM公司的Spin Coaters、Spin Processors遍布全球著名的高等院校、科研院所和相關(guān)行業(yè)生產(chǎn)型企業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)中心，為全球范圍內(nèi)使用頻率最高的Spin Coaters、Spin Processors。

1、面對高端用戶嚴(yán)格苛刻工作需求的高智能旋涂儀。

2、增強(qiáng)聚丙烯（reinforced polypropylene，簡稱RPP）材質(zhì)構(gòu)造：極佳的物理性能和化學(xué)穩(wěn)定性--無毒、無臭、無味，耐水蒸汽性、耐化學(xué)腐蝕性和耐蠕變性等更加優(yōu)越性能。

3、11英寸和14英寸兩種不同規(guī)格內(nèi)徑桶狀處理工作腔體。

4、三種不同外形形式結(jié)構(gòu)：臺式一體式、分離式、特殊環(huán)境內(nèi)置式；可選擇臺面式，和用于濕站或者手套箱系統(tǒng)的不同構(gòu)造。

5、內(nèi)置高精度真空度傳感器。  

6、可選三種不同工作狀態(tài)：真空吸附、盤式裝片、真空盤式。 

7、可編程的雙語程序控制系統(tǒng)；轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度精確至±0.1 %，最高轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM。

8、本系列機(jī)身設(shè)計可拓展為自動滴膠型，即自動滴膠-旋涂儀；

9、面對實(shí)驗室嚴(yán)格苛刻條件需求，本機(jī)已配備惰性氣體設(shè)計；

10、面對相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊（刮邊）功能； 

1、高智能數(shù)碼控制器：

2、全球獨(dú)創(chuàng)的“真空吸附、盤式裝片與真空盤式”三種不同工作狀態(tài)完美結(jié)合卻又完全細(xì)分.

（1）真空吸附

真空吸附工作狀態(tài)：配置高性能無油真空幫浦系統(tǒng)。由于內(nèi)置高靈敏真空度傳感器，智能程序控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)實(shí)時檢測旋涂工藝過程真空度，使吸附中的Wafer更加堅固、最大可能避免了甩片導(dǎo)致實(shí)驗失敗的現(xiàn)象；本機(jī)在啟動時，若操作系統(tǒng)真空度未達(dá)所需標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)，智能控制系統(tǒng)具有自動停機(jī)保護(hù)性能，避免Wafer的破損和膠液的浪費(fèi)。

（2）盤式裝片

盤式裝片工作狀態(tài)：無需高性能真空幫浦系統(tǒng)即可工作。不僅方便小巧輕薄的基底材料同時亦非常適合大面積和笨重厚重的基底材料涂敷工作，并且完全涂敷基底材料所有表面，非常方便特殊基底材料涂敷。

（3）真空盤式

真空盤式工作狀態(tài)：將真空吸附和盤式裝片工作狀態(tài)結(jié)合，即同時配置高性能真空幫浦系統(tǒng)與特殊真空裝片盤工作，同時擁有真空吸附和盤式機(jī)構(gòu)的優(yōu)勢，使工作中的Wafer更加安全可靠。

 

小巧、輕薄、大面積、厚重或笨重的基底材料：一次性提供最完美的全方位解決涂敷工作方案！

3、高性能伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速更高、精度更精確.

4、機(jī)身設(shè)計可拓展為自動滴膠型，即自動滴膠-旋涂儀；

5、面對實(shí)驗室嚴(yán)格苛刻條件需求，本機(jī)配備惰性氣體設(shè)計；

6、面對相關(guān)行業(yè)需求還可增加去邊（刮邊）功能；

 

電源電壓：100V/ 60Hz 或110V/ 60Hz 或220V/ 50Hz

旋轉(zhuǎn)涂敷：300 - 10000 r/min ；勻膠時間：1---9999秒

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性： ±0.1 %       ；最高轉(zhuǎn)速：10000 RPM

基底材料適用范圍：

（1）11英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合10英寸及以下和（7英寸*7英寸）180mm*180mm及以下規(guī)格的基底材料（如Wafer等）工作。

（2）14英寸的RPP材質(zhì)內(nèi)徑桶狀處理腔體適合13英寸及以下規(guī)格的基底材料（如Wafer等）工作。

 

本機(jī)同時在歐州、美國、大中華區(qū)（含新加坡、臺灣、香港、澳門）等區(qū)域營銷服務(wù)，為方便全球各區(qū)域用戶語言使用習(xí)慣操作，因此在本機(jī)中設(shè)置存儲了中文和英文兩種全球主要官方語言程序。

                                                                                                  原裝附機(jī)設(shè)備與配件：

1、高性能無油真空幫浦

2、高性能滴膠機(jī)

3、真空吸盤：所選材質(zhì)為聚四氟乙烯，具有抗酸堿抗各種有機(jī)溶劑、耐高低溫、電絕緣性、無毒害、摩擦系數(shù)極低，可防止涂敷工作過程中任何膠液粘附。

4、特殊裝片盤 （選配）

5，可增加去邊功能（選配）

全套原裝標(biāo)準(zhǔn)化配件，原廠服務(wù)、使用效果更加保障。

6，高性能空氣壓縮機(jī)

原裝配件優(yōu)中選優(yōu)，使用壽命更長、性能更優(yōu)。

國際專業(yè)化設(shè)計，與科研工作環(huán)境相匹配、安全可靠、體驗人本科技。

國際專業(yè)化制造，材質(zhì)優(yōu)中選優(yōu)，性能穩(wěn)定出色。

國際專業(yè)化檢測，標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格，國際質(zhì)量。

 

全球首度整合真空吸附與盤式裝片工作狀態(tài)，高強(qiáng)度材料、集多項尖端技術(shù)一體化集成。智能化操作，加之整體考究配套，使之性能更加安全、穩(wěn)定、可靠！

 

創(chuàng)新與經(jīng)典完美結(jié)合，氣質(zhì)非凡，雍容華貴.

下面請您根據(jù)需要涂敷基底材料的大小選擇相應(yīng)的旋涂儀型號：

 顏色：白灰色

CPN-SC-ISO5560CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺式一體化，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

4、最普遍常用型號最受歡迎的旋轉(zhuǎn)涂敷儀系統(tǒng)；

CPN-SC-ISO5580CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造臺式一體化，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器一體；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                                                                                                                                                         

CPN-SC-ISO6560CE    

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

 

CPN-SC-ISO6580CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時外置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                     

CPN-SC-ISO8560CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以內(nèi)置式安裝，同時工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、11英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷10英寸及以下和180mm*180mm（7英寸*7英寸）及以下規(guī)格的Wafer工作；

CPN-SC-ISO8580CE     

1、RPP材質(zhì)構(gòu)造同時內(nèi)置式帶高智能遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，即桶狀處理工作腔體在特殊環(huán)境下可以內(nèi)置式安裝，同時工作腔體與高智能數(shù)碼控制器分離設(shè)置；

2、14英寸內(nèi)徑桶狀處理工作腔體；

3、可涂敷13英寸及以下規(guī)格的Wafer工作；

4、超越全球最大Wafer尺寸的工作范圍（14英寸）；

                                                     

高性能無油真空幫浦：

優(yōu)勢：

超低真空，超低靜音，體積輕巧，外形美觀，結(jié)構(gòu)簡單，維修容易，更易保養(yǎng)，完全無油氣，環(huán)保，保持工作環(huán)境免受污染。

 

國際標(biāo)準(zhǔn)：真空幫浦鋁合金材質(zhì)構(gòu)造 

安全：風(fēng)扇處外置式風(fēng)扇蓋，完全將在工作狀態(tài)下可能雜物進(jìn)入風(fēng)扇處而引起的不安全因素排除。

幫浦表面處理按中國臺灣行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)處理：噴亮漆

額定電壓/頻率 V/Hz：100V/60Hz 或110V/60Hz 或220V/50Hz

熱保護(hù)器℃：自動復(fù)位130±5℃

最大真空度KPa：-740mmHg 

最大空氣流量 m3/h：6.0m3/h      

使用環(huán)境溫度 ℃：5-40℃

絕緣等級：B

冷態(tài)絕緣電阻（常態(tài)）MΩ：≥100MΩ

耐電壓強(qiáng)度：1500V/50Hz 1min無擊穿

                                               

高性能滴膠機(jī)：

滴膠機(jī)采用數(shù)碼LED顯示，按鍵設(shè)定滴膠時間。能夠完成精確，一致的滴膠控制。

進(jìn)氣壓力：60-100 PSI.

電源電壓：100--240 V                  

 

指標(biāo)參數(shù)：

電源：AC 220V±10%/50Hz 【 AC 110V±10%/60Hz（可以內(nèi)部轉(zhuǎn)換）】

消耗功率：<8W

空氣源：最大0.99MPa （潔凈無潤滑的干燥空氣）

吐出壓力調(diào)節(jié)范圍：0.05MPa--0.99MPa

吐出時間調(diào)節(jié)范圍：可調(diào)整DIP程式開關(guān)組合得到多種時間模式

　　　　　　　　　0.01秒-1秒;0.1-10秒;0.2-20秒;0.3-30秒

功能模式：手動模式/半自動模式（定量吐出）

真空回吸功能：可調(diào)節(jié)負(fù)壓控制至600毫米汞柱

重復(fù)精度及吐出頻率：精度：±+0.05%  頻率：600次/分

最小吐出量：0.01ml

                                                                                                                                          

超靜音無油空氣壓縮機(jī)（silent oil free air compressor）

電壓(Volt./Hz)：220V/50HZ

功率(Power):3/4HP（550W）

額定排氣量(L/min): 115L/MIN（0公斤）

60L/MIN（4公斤）

儲氣罐(Tank): 4L最大壓力(Pressure): 7 BAR

壓力開關(guān)：5-7公斤重量(N.W): 24公斤

外觀尺寸（Dimensions）: 410*190*480

                                       

中普尼智能科技有限公司                     

CHINAPONY INTELLIGENT TECHNOLOGY CO.,LTD

E-mail:sales@chinapony.com