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    中科院KW-4A 勻膠機(jī)

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    庫(kù)       存:

    2788

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    5700.00
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     優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品:KW-4A勻膠機(jī),中科院微電子所

    一、概述

    KW型勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝。

    勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證膠厚度的一致性和均勻性,為此,該機(jī)采取了如下措施:

    (一)          定子和轉(zhuǎn)子分開(kāi)供電。定子用穩(wěn)壓電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開(kāi)關(guān)電源調(diào)速,它比用可控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000-8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

    (二)          勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開(kāi),然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)。

    (三)          本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的方法,在光電測(cè)速盤(pán)的邊上有三個(gè)缺口,光電盤(pán)下面裝有光電開(kāi)關(guān)。當(dāng)光電盤(pán)缺口轉(zhuǎn)到光電開(kāi)關(guān)上方時(shí),光電開(kāi)關(guān)的接收器沒(méi)有信號(hào),當(dāng)光電盤(pán)的反射板(缺口以外的其余部分)轉(zhuǎn)到光電開(kāi)關(guān)上面時(shí),光電接收器便接收到信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)脈沖,光電盤(pán)旋轉(zhuǎn)一周,光電接受器便接收到三次信號(hào),因而產(chǎn)生三個(gè)脈沖。閘門(mén)由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為2秒。當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)得的數(shù)是n,則每秒鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2×3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)×60=10n轉(zhuǎn)。故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過(guò)差一個(gè)數(shù)量級(jí)。

         勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來(lái)完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間。在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。

    二、   主要性能

    1.            特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及其勻膠時(shí)間分別連續(xù)調(diào)節(jié),在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。

       Ⅰ檔轉(zhuǎn)速:500-2000轉(zhuǎn)/分

       Ⅰ速勻膠時(shí)間:2-18秒

       Ⅱ檔轉(zhuǎn)速:1500-8000轉(zhuǎn)/分

       Ⅱ速勻膠時(shí)間:3-60秒

    2.  LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±1%,膠的均勻性±3%。

    3. 體積小,重量輕,操作方便。

    4. 電機(jī)功率:40W。

    5. 適用于φ10至φ100mm硅片及其它材料等勻膠。

    三、控制件功能說(shuō)明

    1.電源開(kāi)關(guān):控制220伏電源的通斷。

    2.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)鈕:調(diào)節(jié)勻膠轉(zhuǎn)速。

    3.控制:在啟動(dòng)后,定時(shí)時(shí)間未到,需立即停止而又不能停止吸片,此時(shí)只要抬起該鍵便可停止勻膠。

    4.吸片:按下時(shí)吸住片托上的片子。為避免操作上的錯(cuò)誤,“吸片”鍵具有聯(lián)鎖功能,不吸片則電機(jī)不轉(zhuǎn)。“吸片”鍵抬起后勻膠也就停止。

    5.啟動(dòng):?jiǎn)?dòng)電機(jī)。必須在“控制”鍵和“吸片”鍵都按下時(shí)才能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn),否則雖按了“啟動(dòng)”鍵仍不能運(yùn)轉(zhuǎn)。

    6.勻膠時(shí)間:調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間長(zhǎng)短,時(shí)間分別控制在1-18秒和3秒-1分鐘,其所指刻度與實(shí)際時(shí)間相近。

    7.電源輸入(后):插入220V電源線(xiàn)。

    8.保險(xiǎn)管座(后):安裝φ5×20-1A保險(xiǎn)管。

    9.吸片抽氣嘴(后):連接到抽氣泵。氣泵的抽速1升/秒。

    四、操作步驟

    1.選擇合適的片托,(略小于樣片尺寸)將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘。片托安裝時(shí)一定要到底。

    2.開(kāi)啟電源,按下“控制鍵”。

    3.調(diào)節(jié)合適的勻膠時(shí)間和轉(zhuǎn)速。轉(zhuǎn)速Ⅰ為低速,轉(zhuǎn)速Ⅱ?yàn)楦咚佟?/p>

    4.放片,要注意放正。

    5.按下“吸片”鍵開(kāi)始抽氣。注意在按“吸片”鍵之前,轉(zhuǎn)速電位器上的指示燈不應(yīng)亮。

    6.按“啟動(dòng)鍵”,馬達(dá)先以低速旋轉(zhuǎn),數(shù)字穩(wěn)定后為實(shí)際轉(zhuǎn)速,如:1.50即為1500轉(zhuǎn)/分。

    7.滴膠,動(dòng)作要快些,要在低轉(zhuǎn)速時(shí)間內(nèi)滴膠完畢,然后勻膠機(jī)變?yōu)楦咚賱蚰z。若不知道勻膠機(jī)是在低速還是在高速運(yùn)轉(zhuǎn),可以從電位器上面的指示燈來(lái)判斷,紅或黃色為低速,綠色為高速。

    8.電機(jī)停轉(zhuǎn)后,抬起“吸片”鍵,取下片子。

    9.勻膠時(shí)間、轉(zhuǎn)速若不合適可隨時(shí)調(diào)節(jié)。

    10.繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)4-8步。

    11.勻膠結(jié)束后抬起“吸片”鍵、“控制”鍵,關(guān)斷電源。

    五、注意事項(xiàng)

    1.每次開(kāi)機(jī)前要注意將“控制”鍵,“吸片”鍵抬起,開(kāi)啟電源后分別按下各鍵操作,以避免未啟動(dòng)時(shí)電機(jī)即轉(zhuǎn)動(dòng)。

    2.不同尺寸的片子選用不同尺寸的片托,厚度在1.5mm以下的片子選用帶吸氣槽的片托,厚度大于1.5mm的片子,選用“O”型圈的片托。

    3.所甩樣片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右,如果用大片托甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣,同時(shí)造成膠被吸入抽氣室。

    4.如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立即進(jìn)行清洗,否則片托、光電盤(pán)、電機(jī)軸會(huì)粘在一起,造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng),拆卸亦很困難。

    六、清洗

    屬下列情況之一時(shí),需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗:

    1.          正常使用三個(gè)月的;

    2.          膠被吸入抽氣室的;

    3.          電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

    清洗的辦法是依次取下片托,松開(kāi)光電盤(pán)上的緊固頂絲,(參看抽氣室結(jié)構(gòu)圖)取下光電盤(pán)、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干凈,再依次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤(pán),旋緊緊固頂絲。在安裝過(guò)程中要注意幾點(diǎn):

    1.彈簧片不要卡在電機(jī)軸的臺(tái)階上,否則,下密封環(huán)壓不下去,抽氣室放不下去,同時(shí),電機(jī)軸亦會(huì)被卡住。

    2.彈簧片的作用是將下密封環(huán)彈起,使其上表面貼緊抽氣室的下表面。

    3.下密封環(huán)的上表面和內(nèi)表面,上密封環(huán)的下表面和內(nèi)表面均涂一點(diǎn)真空脂或黃油,一是起潤(rùn)滑作用,二是起密封作用。

    4.在安裝上密封環(huán)可將其先套在光電盤(pán)上,套進(jìn)1mm,不要垂直往軸上安裝,這樣密封環(huán)會(huì)掉下去??蓪蚰z機(jī)某一側(cè)面向下使電機(jī)軸成水平方向,然后將套上密封環(huán)的光電盤(pán)插在電機(jī)軸上,這樣可保證密封環(huán)的下表面緊貼抽氣室的上表面。

    有時(shí)根據(jù)情況可只拆下光電盤(pán)和上密封環(huán)進(jìn)行清洗.

     

     

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    您好, 我在半導(dǎo)體所這邊。想詢(xún)問(wèn)此勻膠機(jī)性能穩(wěn)定之類(lèi),以及報(bào)價(jià)單。謝謝。 汪煉成 18008497660.

    liancheng  2017-08-23

    報(bào)價(jià)含泵么

    liancheng  2017-08-23

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