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    等離子增強(qiáng)型化學(xué)沉積設(shè)備(PECVD) 北京中科信電子裝備有限公司

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

    產(chǎn)品品牌

    中科信電子

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

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    品牌：中科信電子

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

    等離子增強(qiáng)型化學(xué)沉積設(shè)備(PECVD) 北京中科信電子裝備有限公司

    PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。

        主要特點(diǎn)：
                  1.采用臥式熱壁型模式，有效提升產(chǎn)能；
                  2.采用高分辨率熱偶及防干擾技術(shù)，確保射頻放電時溫度場穩(wěn)定；
                  3.完善的射頻自動匹配系統(tǒng)，及全自動工藝參數(shù)控制系統(tǒng)；
                  4.高可靠的真空系統(tǒng)，獨(dú)特的反應(yīng)管位移控制裝置，確保真空系統(tǒng)長期使用穩(wěn)定；
                  5.可選的4管配置及自動上下料機(jī)械手配置，充分考慮客戶的個性化需求； 
                  6.可選的背靠背8管PECVD，減少占地，節(jié)約廠房空間及運(yùn)行成本。


     

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