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    石墨烯LPCVD應(yīng)用：用于石墨烯薄膜生長(zhǎng) 青島精誠(chéng)華旗定制

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-LPCVD

    產(chǎn)品品牌

    青島精誠(chéng)華旗

    規(guī)格型號(hào)：

    石墨烯LPCVD

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：青島精誠(chéng)華旗

    型號(hào)：石墨烯LPCVD

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-LPCVD

    石墨烯LPCVD應(yīng)用：用于石墨烯薄膜生長(zhǎng) 青島精誠(chéng)華旗定制
    產(chǎn)品名稱： 石墨烯LPCVD    石墨烯LPCVD name=
    應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體
    關(guān) 鍵 字：石墨烯LPCVD
    產(chǎn)品咨詢電話：4008-110044
    產(chǎn)品詳細(xì)描述：
    石墨烯LPCVD應(yīng)用：用于石墨烯薄膜生長(zhǎng)。
    石墨烯LPCVD產(chǎn)品特點(diǎn)：
    ◆系列生產(chǎn)型：1室、2室、3室（高效周期/連續(xù)性生產(chǎn)）
    ◆高溫出爐（高效率）
    ◆優(yōu)化的組件：真空干泵、半導(dǎo)體級(jí)氣路、壓力檢測(cè)控制等
    ◆懸臂/軟著陸,恒溫區(qū)適應(yīng)多個(gè)舟或其它方式
    ◆長(zhǎng)恒溫區(qū)、適合更多舟的工藝（大量）
    ◆自動(dòng)門，更加完善的安全聯(lián)鎖保護(hù)系統(tǒng)
    ◆自動(dòng)溫區(qū)調(diào)整
    ◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)：對(duì)爐溫、壓力、流量、閥門等動(dòng)作自動(dòng)控制
    ◆石墨烯層數(shù)：一層，方阻、透光性極優(yōu)
    ◆襯底：銅箔（板、卷）/PET/PI/石英/硅片

    石墨烯LPCVD主要技術(shù)指標(biāo)：
    1、工藝溫度：300～1100℃/1200℃
    2、恒溫區(qū)及控制精度：1000mm～1200mm
    3、極限真空度：～9x10-1Pa
    4、工作真空度：10～1000Pa可調(diào)
    5、控制系統(tǒng)：工業(yè)控制計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對(duì)爐溫、壓力流量、舟的位置、閥門狀態(tài)等進(jìn)行自動(dòng)控制
    青島精誠(chéng)華旗微電子設(shè)備有限公司(青島華旗科技有限公司，建于1993年)，為專業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進(jìn)材料專用設(shè)備研發(fā)制造廠家。致力于為半導(dǎo)體集成IC電路分立器件、MEMS、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供先進(jìn)的專用設(shè)備，工藝涵蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)（及提純、合成等）、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴(kuò)散（包括退火合金含工藝及快速退火工藝等）、真空燒結(jié)等工藝。半導(dǎo)體工藝設(shè)備覆蓋三代半導(dǎo)體材料--硅、砷化鎵、氮化鎵等，高性能磁性材料真空設(shè)備（釤鈷、釹鐵硼等）。同時(shí)承擔(dān)了部分國(guó)家863項(xiàng)目（如半導(dǎo)體白光照明GaN生長(zhǎng)的HVPE設(shè)備等）及相關(guān)的國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目等。
        青島精誠(chéng)華旗（“華旗科技”）擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院?？蒲性核雽?dǎo)體制造、高性能磁性材料制造的企業(yè)工廠等。
         青島精誠(chéng)華旗（“華旗科技”）擁有精良的科研、設(shè)計(jì)、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為中國(guó)電子專用設(shè)備協(xié)會(huì)、中國(guó)磁性材料與器件協(xié)會(huì)等多家協(xié)會(huì)會(huì)員單位，承接并出色完成了一系列國(guó)家重點(diǎn)項(xiàng)目的專用設(shè)備的設(shè)計(jì)制造。
        2006年通過(guò)GB/T19001-2008(ISO9001:2008)質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
    青島華旗科技廠房

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