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    LPCVD

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-LPCVD

    產(chǎn)品品牌

    AS賽瑞達(dá)

    規(guī)格型號(hào)：

    4-6"

    發(fā)貨期限：

    90天天

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：AS賽瑞達(dá)

    型號(hào)：4-6"

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-LPCVD

      LPCVD是用加熱的方式，在低壓條件下，使氣態(tài)化合物在基片表面反應(yīng)并淀積形成穩(wěn)定固體薄膜。由于工作壓力低，氣體分子的平均自由程和擴(kuò)散系數(shù)大，故可采用密集裝片方式來(lái)提高生產(chǎn)率，并在襯底表面獲得均勻性良好的薄膜淀積層。LPCVD用于淀積Poly-Si,Si3N4, SiO2, 磷硅玻璃，硼磷硅玻璃，非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路，電力電子，光電子及MEMS等行業(yè)的生產(chǎn)工藝中。

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    4001027270

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