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    自動勻膠機

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-涂膠設備-半自動勻膠機

    庫       存：

    5

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-涂膠設備-半自動勻膠機

     自動勻膠機，采用進口旋轉馬達，通過精準定位系統(tǒng)，輔以皮帶傳送，實現(xiàn)光刻膠的自動涂覆，前烘。旋轉速度達6000rpm，無故障加工片數(shù)多達10000片以上。自動勻膠具有加工速度快，涂覆均勻性好，節(jié)省光刻膠等特點。設備具有操作簡單，維護量小等特點。

    適用范圍廣：適用3-6寸芯片
    烘烤溫度控制精確：≤1℃（50-150℃），≤2℃（150-200℃）
    旋轉速度控制精確：最高轉速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，轉速
                    精準度≤1-4%
    涂布均勻性好：片內(nèi)≤130A，片間≤150A
    設備可靠性高：MWBF（平均故障間隔）≥10000片

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