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Smart Coater®精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復(fù)性

特性優(yōu)點：

· 最新的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

· 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

· Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

· 標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

· 采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

· 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

· 排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風效率和勻膠均一性）。

· 透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

主要性能指標：

· 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

· 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

· 轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm(可選更高速)

· 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

· 馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%

· 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

· 工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

· 支持wafer尺寸1cm-200mm

· 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

· 設(shè)備尺寸 32cm W × 44cm D × 30cm H

SC100型精密勻膠機

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