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    德Raith Pioneer Two 電子束光刻機

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-光刻設備-電子束曝光機

    產品品牌

    德Raith

    庫       存：

    1

    產       地：

    全國

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：德Raith

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-光刻設備-電子束曝光機

     
    德Raith Pioneer Two 電子束光刻機
    詳細介紹

    Pioneer Two 電子束光刻機：

    德 Raith Pio<em></em>neer Two 電子束光刻機.png



    1.           系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV。可實現(xiàn)高分辨電子束曝光，最小驗收線寬≤8nm。
    2.       系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺，運動行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度為2nm，可以實現(xiàn)精確的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
    3.       系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中高端的熱場電鏡類似，放大倍數為20x ~1,000,000x。 
    4.       另外，除了標準配置, 客戶還可以增加一些選配件，如選配背散射探測器、能譜儀等，進行材料分析；選配工作臺旋轉傾斜模塊，實現(xiàn)不同角度的材料成像等。如果選擇相應的選配件，請增加相應的價格。

     

       

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