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    包郵 關(guān)注:904

    Nikon NSR175517A

    產(chǎn)品品牌

    Nikon NSR175517A

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：Nikon NSR175517A

    型號：

    所屬系列：半導體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-電子束曝光機

     一、基本參數(shù)：

        工    藝：I線光刻機

        工藝能力：0.5微米

        襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

    傳片方式：機械手單片傳送，片架到片架傳送

    二、設(shè)備配置：

        硅片傳輸系統(tǒng)

        掩膜版自動傳輸系統(tǒng)

        LSA對準系統(tǒng)

    FIA對準系統(tǒng)

        照明系統(tǒng)

        二維精密XY工作臺

        預對準系統(tǒng)

        環(huán)境控制器

    三、工藝指標

    NSR1755I7A是I線步進式光刻機，其曝光波長為365nm；分辨率可以達到0.5um；最大曝光場大小為17.5mm*17.5mm；單機套刻精度能夠控制在120nm以內(nèi)；并能提供大于60片/小時的產(chǎn)能。

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    提問:
     
    問

    能提供一下基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度這些參數(shù)嗎？

    wole  2017-07-28

    答

        一、基本參數(shù)：

           工    藝：I線光刻機

           工藝能力：0.5微米

           襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

       傳片方式：機械手單片傳送，片架到片架傳送

       二、設(shè)備配置：

           硅片傳輸系統(tǒng)

           掩膜版自動傳輸系統(tǒng)

           LSA對準系統(tǒng)

         FIA對準系統(tǒng)

           照明系統(tǒng)

           二維精密XY工作臺

           預對準系統(tǒng)

           環(huán)境控制器

       三、工藝指標

             NSR1755I7A是I線步進式光刻機，其曝光波長為365nm；分辨率可以達到0.5um；最大曝光場大小為17.5mm*17.5mm；單機套刻精度能夠控制在120nm以內(nèi)；并能提供大于60片/小時的產(chǎn)能。

    2017-08-04

    問

    能提供一下基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度這些參數(shù)嗎？

    wole  2017-07-28

    答

        一、基本參數(shù)：

           工    藝：I線光刻機

           工藝能力：0.5微米

           襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

       傳片方式：機械手單片傳送，片架到片架傳送

       二、設(shè)備配置：

           硅片傳輸系統(tǒng)

           掩膜版自動傳輸系統(tǒng)

           LSA對準系統(tǒng)

         FIA對準系統(tǒng)

           照明系統(tǒng)

           二維精密XY工作臺

           預對準系統(tǒng)

           環(huán)境控制器

       三、工藝指標

             NSR1755I7A是I線步進式光刻機，其曝光波長為365nm；分辨率可以達到0.5um；最大曝光場大小為17.5mm*17.5mm；單機套刻精度能夠控制在120nm以內(nèi)；并能提供大于60片/小時的產(chǎn)能。

    2017-08-04

    應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

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    4006988696

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

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