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    PEARL系列三坐標測量機——中小零部件精密檢測

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-表面形貌測試-其他

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-表面形貌測試-其他

     

    PEARL系列三坐標測量機——中小零部件精密檢測

    該系列三坐標測量機采用先進的結構設計和工藝技術,輕便高效,適用于中小零部件測量任務,滿足生產(chǎn)測量要求,具備最佳性價比。

     

     

    機型的特點

    橋式移動結構,人機工程學設計;敞開的測量空間更具操作性;

    三軸均采用天然花崗巖材料,具有一致的剛性和膨脹性;

    內(nèi)置鋼絲的增強型同步帶,使整機具有優(yōu)良的動態(tài)性能;

    三軸空氣軸承全封閉設計,確保精度的長期穩(wěn)定性;

    可配置各種觸發(fā)、掃描測頭;

    高分辨率光柵檢測系統(tǒng);

    可選配溫度補償系統(tǒng)。

     

     

     

    規(guī)格型號

     

    工作環(huán)境要求
    測量機室的溫度:20℃±2℃;測量機室的濕度:25%-75%
    測量機周圍環(huán)境的最大溫度梯度: 0.1℃/h ,0.1℃/m
    機械振動:
    頻率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    頻率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    頻率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供氣系統(tǒng):
    最小供氣壓力:0.6 Mpa 耗氣量:0.2 m3/min 氣管外徑:Φ6 mm
    供電系統(tǒng):
    功耗:3 kw 電壓:220 v±5%  頻率:50 Hz
    電流:15 A
    專用地線電阻≤5 Ω

     

     

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