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    FUTURE系列三坐標測量機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

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    全國

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    所屬系列:半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-其他

      

    FUTURE系列三坐標測量機

     整體結(jié)構(gòu)設(shè)計采用有限元分析技術(shù),配備獨特小孔節(jié)流式空氣軸承的氣墊設(shè)計,大大減少了環(huán)境對測量機的影響。三軸均采用齒形帶傳動和無摩擦氣浮導(dǎo)軌,使得各軸運動平穩(wěn)精確,適合多種測量場合。

    機型的特點
     
    ?工作臺固定,采用橋式移動結(jié)構(gòu);
    ?三軸導(dǎo)軌均為花崗巖材料結(jié)構(gòu)件,具有膨脹系數(shù)低,變形小的特點,使測量機精度更加穩(wěn)定;
    ?三軸均采用齒形帶傳動,使得各軸運動平穩(wěn)精確;
    ?三軸均為無摩擦氣浮導(dǎo)軌;
    ?獨特小孔節(jié)流式空氣軸承的氣墊設(shè)計,其性能穩(wěn)定、承載能力強,從而保證各向?qū)к壍某休d和導(dǎo)向精度,確保整機運動的剛性和測量空間的精度;
    ?獨特的平衡氣缸設(shè)計,使Z軸上下運動時阻力大大減小,提高了運動平穩(wěn)性,從而保證了測量精度;
    ?開放式Z軸結(jié)構(gòu)使安裝維護更方便;
    ?模塊化設(shè)計可滿足用戶特殊定制要求。
    ?可選配溫度補償系統(tǒng)。
     
     

      

     


    工作環(huán)境要求
    測量機室的溫度:20℃±2℃;測量機室的濕度:25%-75%
    測量機周圍環(huán)境的最大溫度梯度: 1℃/h , 1℃/m
    機械振動:
    頻率0.2—2 Hz,振幅<5×10-6m
    頻率2—20 Hz,速度<50×10-6m/s
    頻率20—200 Hz,加速度<5×10-3m/s2
     
    供氣系統(tǒng):
    最小供氣壓力:0.6 Mpa 耗氣量:0.2 m3/min 氣管外徑:Φ6 mm
    供電系統(tǒng):
    功耗:3 kw 電壓:220 v±5%  頻率:50 Hz
    電流:15 A
    專用地線電阻≤5 Ω

     

     

     

     

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