服務(wù)熱線
4001027270
NanoMap-D 雙模式三維表面輪廓儀(臺階儀) | ||
世上第一臺,也是唯一同時具備探針式掃描和白光干涉掃描功能的輪廓儀。既方便分析各種材料、器件、工具等的表面形貌,又節(jié)省了寶貴的空間、費用。有些表面不適合探針測量,因為容易損傷樣品;有些表面不適合干涉儀,因為相鄰材料光學(xué)性質(zhì)差異太大。這臺設(shè)備以強(qiáng)有力的競爭為您提供兩種選擇。 | ||
3D接觸式探針掃描(contact profiler) | 臺階重復(fù)率 | 5A |
fine模式Z高度范圍 | 5μm | |
coarse模式Z高度范圍 | 500μm(可選1.5mm) | |
Tip Scan模式(XY) | 最大50μm | |
Stage Scan模式(XY) | 最大150mm(可選200mm等) | |
探針壓力 | 0.03-100mg | |
樣品臺 | 150*150mm(可選200*200mm等) | |
3D非接觸光學(xué)掃描(optical profiler) | 臺階重復(fù)率 | 1A |
CCD分辨率 | 1024*1024/1536*1536/1920*1920 | |
物鏡 | 2.5x/5x/10x/20x/50x/100x | |
樣品反光率 | 0.4-100% | |
最大樣品厚度 | 50mm( 可選100mm) | |
樣品臺旋轉(zhuǎn) | 360度 | |
樣品臺傾斜 | 4度 | |
應(yīng)力分析 |
購買之前,如有問題,請向我們咨詢