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Chroma 7505-01 多功能光學(xué)檢測系統(tǒng)

簡單介紹

Chroma 7505-01 多功能光學(xué)檢測系統(tǒng)能提供微奈米等級1D、2D、3D多功能的量測能力，可滿足各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)及研究單位之需求，是您提升效率及節(jié)省成本的最佳選擇。歡迎選購7505-01。

多功能光學(xué)檢測系統(tǒng)的詳細(xì)介紹

主要特色：

² 一機(jī)具備1D、2D、3D量測能力

² 具備膜后量測功能(1D)，使用穿透反射式量測，可進(jìn)行非破壞式膜厚量測

² 使用高解析度線型掃瞄相機(jī)，可進(jìn)行高速2D瑕疵量測，可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵

² 使用白光干涉量測技術(shù)，可進(jìn)行3D三維形貌量測

² 搭載電動(dòng)式鼻輪，可同時(shí)掛載多種物鏡并可程式控制切換使用

² 具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問題修正演算法

² 模組化設(shè)計(jì)可依量測需求及預(yù)算考量進(jìn)行各部件選配

² 量測范圍可涵蓋約700 mm x 900 mm (可依需求提供更小尺寸)

² 三維量測提供多種表面參數(shù)量測功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度

² 載臺具備真空吸附能力，軟性待側(cè)物可完全平整的被吸附形成一個(gè)平整的平面

² 友善的人機(jī)介面，簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖形顯示

² 自動(dòng)化快速自我校正能力，確認(rèn)系統(tǒng)量測能力

² 提供腳本量測功能，具備自動(dòng)量測能力

² 提供中/英文程式介面切換

技術(shù)規(guī)格：

7505-01多功能光學(xué)檢測系統(tǒng) 1D膜厚量測功能，利用穿透反射式量測，可對透明半透明的材料進(jìn)行非破壞性膜厚量測。

2D量測搭載高解析度線型掃瞄相機(jī)，搭配電腦精密控制的平臺進(jìn)行水平掃描，量測范圍可達(dá)到700mm x 900mm的范圍，同時(shí)載臺具備真空吸附能力，針對軟性待測物如觸控面板、電子紙及AMOLED等軟性顯示器等可以平整的被吸附形成一個(gè)平整的平面。

本系統(tǒng)可適合于各種需要進(jìn)行微奈米等級量測并同時(shí)需要量測大范圍的應(yīng)用。2D瑕疵量測，可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵，并可透過三維量測功能進(jìn)一步對二維瑕疵進(jìn)行高度或深度的分析，同時(shí)具備2D及3D瑕疵分析的功能，能解決傳統(tǒng)二維檢測無法量測高度或深度的缺點(diǎn)。

目前3C產(chǎn)品朝小型化發(fā)展，相關(guān)上游供應(yīng)產(chǎn)業(yè)，諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、PCB、軟性顯示器、電子紙、OLED、微機(jī)電(MEMS) 、電子封裝等產(chǎn)業(yè)，對于各項(xiàng)二維三維的量測需求尺寸將會(huì)越來越小，各項(xiàng)尺寸量測的準(zhǔn)確性會(huì)反映出產(chǎn)品的品質(zhì)與效能，在制程中對各項(xiàng)尺寸品質(zhì)的即時(shí)監(jiān)測需求與日俱增。

Chroma 7505-01 多功能光學(xué)檢測系統(tǒng) 具備膜后量測功能(1D)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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