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4006988696
紅外激光晶圓劃片機技術(shù)參數(shù)
激光器:光纖激光器
激光波長:1064nm
額定功率:20W@20KHz
直線電機工作臺定位精度:2um
直線電機工作臺有效行程:300mmх300mm
CCD定位精度:5um
最小切割線寬:0.020mm
旋轉(zhuǎn)范圍: 360 度
旋轉(zhuǎn)精度:0.0001度
紫外激光晶圓切割機
應(yīng)用于硅晶圓、Ⅲ-Ⅴ族晶圓、LOW-K材料的D&B開槽和切割,
適用于雙臺面玻璃鈍化可控硅體晶圓的劃片和切割。
紫外激光晶圓劃片機技術(shù)參數(shù)
激光器:調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦紫外激光器
激光物質(zhì):Nd:YVO4
激光波長:355nm
額定功率:5W@30KHz
直線電機工作臺定位精度:2um
直線電機工作臺有效行程:300mmх300mm
CCD定位精度:5um
最小切割線寬:0.020mm
旋轉(zhuǎn)范圍: 360 度
旋轉(zhuǎn)精度:0.0001度
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