應(yīng)用：
主要用于 6 英寸半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二
極管、LED 芯片、太陽(yáng)能電池、電子基片、壓電陶瓷等
的劃切加工；適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、
砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料
特征：
? 觸摸式教學(xué)式GUI，操作簡(jiǎn)單便捷。
? *自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、刀痕檢測(cè)功能，提高生產(chǎn)效率。
? Y向光柵尺閉環(huán)控制。
? 直光、環(huán)形光，工件觀察清晰。
? 加工狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
? *工廠自動(dòng)化模塊。
Automatic Dicing SawAR3000
■使用條件 • 請(qǐng)使用大氣壓露點(diǎn)在-15 ℃以下殘余油分為0.1 ppm，過(guò)濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。 •請(qǐng)將放置機(jī)械設(shè)備的房間室溫設(shè)定在20 ℃?25 ℃之間，并將波動(dòng)范圍控制在±1 ℃以內(nèi)。 •請(qǐng)將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃（變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以內(nèi)），將冷卻水的水溫控制為與室溫相同（變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以 內(nèi)）。 •其他，請(qǐng)避免設(shè)備受到撞擊及外界的有感振動(dòng)。另外，請(qǐng)不要將設(shè)備安裝在鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置及產(chǎn)生油霧的裝置附近。 •本設(shè)備會(huì)使用水。萬(wàn)一發(fā)生漏水影響，請(qǐng)把本設(shè)備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場(chǎng)所。 •（*）為非標(biāo)準(zhǔn)配置。
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