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    包郵 關(guān)注:824

    背面減薄機(jī)EVG系列

    產(chǎn)品品牌

    ENGIS

    規(guī)格型號:

    EVG-250

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    日本

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     產(chǎn)品簡介:本機(jī)為我公司新一代背面減薄機(jī),兼顧硬脆性材料,例如:藍(lán)寶石、碳化硅、鎢鋼金屬、陶瓷片,以及軟脆性材料, 例如: 硅片、光學(xué)玻璃、石英晶、InP、GaAs、GaSb等及其他半導(dǎo)體材料的高精度切削減薄。

    主要特點(diǎn):

    1. 高去除率 : 參考值:SiC 15um~20um/min, Si Wafer 40~50um/min (具體視砂輪的粒徑、材質(zhì)及工藝而定)
    2.行業(yè)領(lǐng)先的高精度減薄進(jìn)度控制: min 0.1um/秒,特別適用于超薄易碎片減薄。
    3.日本進(jìn)口變頻器,日本進(jìn)口PLC觸摸屏,可實(shí)現(xiàn)多樣化自主操作工藝 
    4. HMI人機(jī)互動,數(shù)據(jù)界面直讀系統(tǒng) 
    5. 加工精度行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先 :晶片加工均勻性≤3um, 目標(biāo)厚度誤差:±2um,最小加工厚度:50um
    6.日本原裝高轉(zhuǎn)速伺服電機(jī),確保設(shè)備高精度、高穩(wěn)定性運(yùn)行。
    7. 工件固定方式可選配置,滿足不同產(chǎn)能需求: 多孔真空吸附適用于研發(fā),單片加工;陶瓷盤貼蠟固定,適用于產(chǎn)能效益,設(shè)備兼容性高,2"~6"兼容。
    8. 設(shè)備性能穩(wěn)定可靠,損耗率低。
    9. 晶片厚度自動測厚系統(tǒng)可選配,滿足客戶自主多樣化精度需求 。
    10. 緩慢啟動﹑緩慢停止裝置。
    11. 完善的售后服務(wù),12小時(shí)內(nèi)電話或郵件回復(fù)問題,48小時(shí)內(nèi)工程師到達(dá)客戶現(xiàn)場。
    12. 質(zhì)保期間31次工程師例行拜訪,實(shí)時(shí)解決客戶的需求和突發(fā)問題。
    13. 設(shè)備適用于多種材料加工,高硬性SiC材料、藍(lán)寶石、軟性材料SiInP、Ge、GaAsGaSb等等。
     

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