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    包郵 關(guān)注:285

    晶體數(shù)控滾圓磨床

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

    產(chǎn)品品牌

    豪特曼

    規(guī)格型號:

    FX32P-60CNC

    發(fā)貨期限:

    2個月天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-河南省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:豪特曼

    型號:FX32P-60CNC

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

     1、 設備型號:FX27P-60CNC

    2、 技術(shù)規(guī)格:

    項  目

    單 位

    機型:FX27P-60CNC

     

     

    加工能力

    工作臺最大旋徑

    mm

    270

    兩頂針最長距離

    mm

    600

    最大研磨直徑

    mm

    270

    最小研磨直徑

    mm

    3

    兩頂心間最大荷重

    Kg(b)

    60(頂心工作)/20(只有工作頭)

    砂輪尺寸(直徑×寬度×孔徑)

    mm

    405×38(32-50)×127

    砂輪轉(zhuǎn)速

    rpm

    1650~3300(轉(zhuǎn)速可調(diào))

    砂輪最大線速度

    m/s

    35(高速砂輪可達65)

     

    砂輪修整

    mm

    自動型

    砂輪頭

    進給角度

    Deg

    90

    進給行程

    mm

    220

    X軸進給速度

    m/min

    6

    X軸最小進給量

    mm

    0.001

    頭架

    主軸轉(zhuǎn)速

    rpm

    50-500

    主軸形式

     

    同動

    頂針規(guī)格

     

    MT-4

    尾座

    自動伸縮距離

    mm

    40

    頂針規(guī)格

     

    MT-4

    工作臺

    Z軸快速移動速度

    m/min

    8

    Z軸最小進給量

    mm

    0.001

    最大移動行程

    mm

    640

    旋轉(zhuǎn)角度

    Deg

    +7/-3

    馬達

    砂輪主軸馬達

    KW

    3.75

    X軸進給馬達(伺服)

    KW

    1.5

    Z軸進給馬達(伺服)

    KW

    1.5

    頭架主軸馬達

    KW

    0.75

    冷卻水泵馬達

    KW

    0.75

    潤滑油馬達

    KW

    0.25*2

    其他

    機器凈重

    Kg

    3300

    機器毛重

    Kg

    3500

    包裝尺寸(長*寬*高)

    mm

    2700*2000*2000

     

    3、 機床精度:

    (1)機床精度檢驗表

    (2)經(jīng)過豪特曼外圓磨床研磨(磨削),須達到如下標準精度要求:(不同材質(zhì)工件選用不同砂輪)

    No.

    機型

    工件

    真圓度

    粗糙度

    1.

    FX27P-60CNC

    標準試樣件

    ≤0.0015mm

    ≤Ra0.25

       注:粗磨 (一般情況研磨量 0.01~0.03mm);精磨 (一般情況研磨量0.001~0.01mm)

    一、 設備描述:

    1、 本體

    本體及構(gòu)件采用米漢納高級鑄鐵FC30鑄成,經(jīng)人工正常化熱處理,再經(jīng)過自然時效處理。構(gòu)件加工采用YASDA,MITSUI SEIKI,TOSHIBA ,ELB等世界一流設備一次裝夾加工。精密尺寸可達微米級,確保設備基礎(chǔ)構(gòu)件高精度。

    2、 自動潤滑系統(tǒng)

    機床導軌及精密滾珠絲桿持續(xù)不斷地受到自動潤滑系統(tǒng)的供油潤滑,確保更長使用壽命,及長期保持最佳精度。冷卻系統(tǒng)與機體分開,消除振動并且有利散熱。

    3、 自動化系統(tǒng)

    配置西門子828D數(shù)控自動化研磨系統(tǒng),并進行二次開發(fā),實現(xiàn)人機對話傻瓜式操作,備有眾多選購配備可供選擇,包括內(nèi)孔研磨裝置、自動端面測量裝置、自動外徑測量裝置等。

     

    4、 砂輪頭進給軸

    研磨進給系統(tǒng)是由手工精密鏟花的一V一平軌道搭配自動潤滑系統(tǒng)、C3級精密研磨滾珠絲桿組成,能獲平順運動、優(yōu)異的重復定位精度及較長的軌道壽命。

     

    5、 砂輪主軸

    砂輪主軸標準配置為前四后二軸承式結(jié)構(gòu)。也可以選配高精密靜壓主軸,具有回轉(zhuǎn)精度高,動態(tài)剛度高,抗振性好,磨削效率高,磨削表面質(zhì)量好的特點,針對特殊工件研磨,具有砂輪轉(zhuǎn)速可調(diào),提高線速度,增加磨削效率。

    6、 尾座

    尾座的設計不但具有剛性且堅固,包覆在鑄鐵本體內(nèi)經(jīng)硬化的合金鋼滑筒設計用來承載MT4頂心,滑筒的頂緊力很容易經(jīng)由后方的調(diào)整旋鈕進行改變。特殊附件油壓尾座附有踏板便于裝卸工件。

    7、 數(shù)控系統(tǒng)

    采用西門子數(shù)控系統(tǒng)為標準配置,操作簡單易用。并配以西門子高性能伺服電機,使設備數(shù)控系統(tǒng)和傳動系統(tǒng)有較好的兼容性,同時具備自動修砂和自動補償功能,保障了進刀和磨削的穩(wěn)定性和精度。

     

    三、設備配置:

    1、標準附件(單臺配置)

    序號

    項目名稱

    產(chǎn)地

    廠牌/型號

    數(shù)量

    1

    CNC數(shù)控系統(tǒng)(二次開發(fā))

    德國

    西門子828D

    1套

    2

    伺服馬達

    德國

    西門子

    2套

    3

    滾珠絲桿

    日本

    THK

    2套

    4

    砂輪主軸/頭架主軸

    臺灣

    健倡

    各1支

    5

    全自動注油器(隨設備配潤滑油)

    臺灣

    寶騰

    2套

    6

    聯(lián)軸器

    臺灣

    NBK

    2套

    7

    水泵驅(qū)動馬達

    臺灣

    寶騰

    1組

    8

    開關(guān)按鈕/接觸器/繼電器

    日本

    富士

    1組

    9

    皮帶

    日本

    三星

    2組

    10

    油路構(gòu)件

    臺灣

    漳化振榮

    1組

    11

    軸承

    德國

    FAG

    10支

    12

    頂尖

    臺灣

    臺興

    2支

    13

    砂輪拆卸器       

    豪特曼

    定制

    1只

    14

    砂輪平衡棒

    豪特曼

    定制

    1只

    15

    砂輪平衡臺

    豪特曼

    定制

    1只

    16

    碳化鎢全圓頂針,半圓頂針

    臺灣

    臺興

    各一只

    17

    潤滑油裝置

    臺灣

    寶騰

    1組

    18

    砂輪修整裝置

    豪特曼

    定制

    1組

    19

    床臺角度調(diào)整裝置

    豪特曼

    定制

    1組

    20

    手動工具及工具箱(1.百分量表、2.油壺、3.一字起子、4.十字起子、5.梅開扳手6支、6.六角扳手10支)

    豪特曼

    定制

    1組

    21

    標準法蘭

    臺灣

    千島

    1組

    22

    標準研磨液供給裝置(冷卻裝置)

    豪特曼

    定制

    1組

    23

    防水鈑金

    豪特曼

    定制

    1組

    24

    水平調(diào)整螺絲及墊塊

    豪特曼

    定制

    1組

    25

    鉆石修刀筆(單點式)

    臺灣

    一品

    1組

    26

    電控箱制冷空調(diào)

    臺灣

    瑞科

    1套

    27

    操作手冊、零件手冊、檢驗報告

    豪特曼

    定制

    1套

     

       

    3、易損、易耗件清單

    序號

    項目名稱

    產(chǎn)地

    廠牌/型號

    數(shù)量

    1

    砂輪皮帶

    日本

    三星

    3條/1組

    2

    工作頭同步帶

    日本

    GATES

    1條

    3

    潤滑油

    中國

    美孚或普科2#

    5L

    4

    砂輪主軸軸承

    德國

    FAG

    1套

     

    四、裝機環(huán)境要求:

       

    1

    電源電壓                                 

    380V

    2

    裝機總功率                               

    12KW

    3

    操作環(huán)境溫度                                

    5-40℃

    4

    磨削液過濾方式

    紙帶過濾

    5

    冷卻水泵

    0.75KW

    6

    冷卻水箱

    200L

     

    五、標準技術(shù)文檔

    No.

    內(nèi)            

    數(shù) 

         

    1

    操作使用說明書                                

    一本

    中文

    2

    外圓磨床出機清單                                 

    一份

    中文

    3

    外圓磨床交機驗收單

    一份

    中文

    4

    外圓磨床精度檢驗報告

    一份

    中文

    5

    出廠合格證

    一份

    中文

    6

    數(shù)控系統(tǒng)用戶手冊

    一份

    中文

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