簡介 

Allalin是一種納米分辨率光譜儀器，基于一種被稱為定量陰極熒光的突破性技術(shù)，它將光學(xué)顯微鏡和掃描 電子顯微鏡（SEM）集成到一個系統(tǒng)中。Allalin允許“不折不扣”的大視場/快速掃描同時獲得掃描電鏡成像 與高光譜或全色CL圖。該系統(tǒng)的構(gòu)建是為了在不犧牲掃描電鏡（SEM）性能的前提下獲得最\佳的陰極熒光 性能：光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡的物鏡被周密的整合在一起，使它們的焦平面相互匹配；光學(xué)顯微鏡以亞微 米精度加工，與傳統(tǒng)的CL技術(shù)相比，具有高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）的消色差、高數(shù)值孔徑（N.A.0.71）檢 測，在大視場（高達(dá)300µm）下具有優(yōu)\越的光子收集效率。因此，定量陰極熒光，其中與儀器相關(guān)的工件 可以從本質(zhì)上排除作為光譜特征或?qū)Ρ榷鹊脑?，這使陰極熒光首\次變的可信。

Allalin是為那些需要遵循嚴(yán)格的技術(shù)路徑和快速獲取非\常精\確的光譜信息而設(shè)計的， 而這些信息是傳統(tǒng)方法無\法\企\及的。 在半導(dǎo)體故障分析、開發(fā)和研究中，Allalin的光譜測量能力為快速可靠的缺陷檢測和 定位提供了無\與\倫\比的解決方案。經(jīng)過驗證的數(shù)據(jù)類型包括位錯密度、材料成分波 動、應(yīng)變、摻雜劑類型和濃度的測量；以及其他廣泛的應(yīng)用。 在科學(xué)研究中，Allalin能夠創(chuàng)建納米分辨率的光譜圖，這使得它成為深\入了解納米尺 度材料物理特性的終\極\工具。 Allalin擁有一套全\面的功能選項：覆蓋紫外-紅外波長范圍的各種探測器選擇、SE檢測 器、穩(wěn)定的低溫樣品臺和高靈敏度的EBIC（電子束感應(yīng)電流）檢測解決方案。

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優(yōu)勢：

性能優(yōu)勢 一個高\度精\密集成化的CL-SEM系統(tǒng) 

– 將光學(xué)收集放在電子柱內(nèi)

– 對于CL，需要零光學(xué)對準(zhǔn)

 – 在300µm的視野（FOV）范圍內(nèi)最\高的收集效率

 – 確保化學(xué)發(fā)光均勻性和再現(xiàn)性，使系統(tǒng)定量和定 性。定量：在300µm的大FOV（無漸暈）下，光子收 集效率恒定（±1%）；在不移動樣本的情況下，執(zhí)行 300µm的圖譜：陰極熒光結(jié)果可重復(fù)且可比較 

– 使用近光劑量，減少了對敏\感樣品造成光束損壞的可 能性 

– 快！單次高光譜CL-map測量時間從18秒到30分鐘不 等，而競\爭\對\手是30分鐘到數(shù)小時

 – 同時生成SEM圖像和高光譜CL圖像，而不會降低電子 探針的尺寸

 – Schottky FEG適用于高電流密度：30 pA至300 nA – CL模式下的掃描電鏡最\高分辨率：低至3nm

 – 直觀的用戶界面和專\用軟件 – 觸摸屏控制，具有易于導(dǎo)航的基于上下文的GUI，無 需專家操作工具 

– 專\用Attomap高光譜分析軟件（見單獨的手冊） 

– 具有低溫選項的高精度納米定位工作臺（10 K至室 溫）

 – 高\通用性：光學(xué)集線器，用于在更大的光譜系統(tǒng)中 集成Attolight CL儀器或補(bǔ)充其功能

應(yīng)用示例 ：

?– 納米半導(dǎo)體光學(xué)特性

 – 晶體缺陷檢測和定位（螺型位錯、堆垛缺陷、摻雜物 等）

 – 納米級成分波動的測定

 – 摻雜計量 

– 失效分析 

– 納米光子學(xué)