特點(diǎn):
1、利用最新探測(cè)術(shù)為您的需求定制 ,表征所有樣品
2、利用in-lens 雙探測(cè)器獲取形貌和成份信息
3、利用新一代的二次探測(cè)器,獲取高達(dá)50%的信號(hào)圖像
4、將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合:一流的背散射幾何探測(cè)器大大提升了分析性能,特別是對(duì)電子束敏感的樣品
5、在一半的檢測(cè)束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)
6、獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角,獲取完整且無(wú)陰影的分析結(jié)果
技術(shù)指標(biāo):
1、分辨率:1.3nm@20KV 1.5nm@15KV 2.8nm@1KV
2、放大倍數(shù):12 – 1,000,000x
3、加速電壓:0.1-30KV
4、探針電流:4 pA - 20 nA (4pA-40nA 可選)
5、樣品室:330 mm (φ) x 270 mm (h)
6、樣品臺(tái):5軸優(yōu)中心全自動(dòng)
X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50mm
T = 0 - 90°
R = 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)