GAIA3-model 2016TriglavTM-新設計的超高分辨（UHR）電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和先進的探測系統(tǒng)
具有非同尋常的超高分辨率成像和及其精確地納米建模
GAIA3 model 2016是一款可以挑戰(zhàn)納米設計應用的理想平臺，它同時具備極佳的精度和微量分析的能力。GAIA3 model 2016擅長的一些應用包括制備高質(zhì)量的超薄TEM樣品，在技術節(jié)點減少層級的過程，精確的納米構圖或高分辨率的三維重建。
主要特點
TriglavTM-新設計的超高分辨（UHR）電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和先進的探測系統(tǒng)
- 以獨特的方式結(jié)合了三透鏡物鏡和crossover-free模式
- 先進的且可隨意變化的探測系統(tǒng)可用于同步獲取不同的信號
- 超高的納米分辨率：15keV下0.7nm，1keV下1nm
- 極限超高分辨率：1keV下1nm
- 可變角度的BSE探測器，最優(yōu)化了低能量下能量反差
- 實時電子束追蹤(In-flight Beam TracingTM）實現(xiàn)了電子束的最優(yōu)化
- 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路（Wide Field OpticalTM）設計提供了不同的工作和顯示模式
- 有效減少熱能損耗，卓越的電子鏡筒的穩(wěn)定性
- 新款的肖特基場發(fā)射電子槍現(xiàn)在能實現(xiàn)電子束電流達到400nA，且電子束能量可快速的改變
- 為失效分析檢測過程中的最新技術節(jié)點提供了完美的解決方案
- 適合精巧的生物樣品成像
- 可觀察磁性樣品
- 優(yōu)化的鏡筒幾何學配置使得8’’晶元觀察成為可能（SEM觀察和FIB納米加工）
- 獨有的實時三維立體成像，使用了三維電子束技術
- 友好的，成熟的SW模塊和自動化程序
Cobra FIB鏡筒：高性能的Ga FIB鏡筒，實現(xiàn)超高精度納米建模
- 在刻蝕和成像方面是最頂尖水平的技術
- Cobra保證在最短時間內(nèi)完成剖面處理和TEM樣品制備
- FIB最佳分辨率<2.5nm
- FIB-SEM斷層分析可應用于高分辨的三維顯微分析
- 適合生物樣品的三維超微結(jié)構研究，例如組織和完整的細胞
- 低電壓下絕佳的性能，適合于刻蝕超薄樣品和減少非晶層
應用
半導體
- 超細減薄TEM薄片厚度小于15nm，用于進行小于14nm工藝節(jié)點的失效分析
- 通過平面去層級化的手段對三維集成電路板進行失效分析
- 三維集成電路板的原型設計和電路修改
- 電子束敏感結(jié)構材料的成像，如低電子束能量下的晶體管層，光阻材料等
- 用于獨特三維結(jié)構分析的超高分辨FIB-SEM層析成像技術
- 通過在亞納米分辨率下的透射電子(STEM)或元素分析(EBX, EBSD)等手段進行TEM薄片的原位分析
- 6’’, 8’’及12’’晶片的檢驗及分析
- 無失真的高分辨EBSD
- 集成電路板和薄層測量下具有開創(chuàng)性及精確的原型設計，離子束光刻(IBL)以及失效分析
- 通過結(jié)合FIB技術及電子束蝕刻(EBL)來進行細小的特殊結(jié)構的刻蝕及鍍膜。
材料科學
- 非導電材料如陶瓷，高分子及玻璃等的成像
- 納米材料如納米管和納米環(huán)的表征
- 通過切片分析進行金屬及合金的疲勞和裂紋形成分析
- 通過電子束蝕刻或聚焦離子束誘導沉積的方式進行納米結(jié)構如納米盤，觸體和霍爾探針的制造。
- 磁性樣品的成像
- 用于分析磁性材料磁化動力學及其疇壁運動的自旋電子結(jié)構的樣品制備
- 通過TOF-SIMS分析進行同位素及具有類似相當質(zhì)量的元素種類的鑒別
- 通過TOF-SIMS包括三維重構進行鋰離子電極的貫穿分析
- 通過元素分布，相分布及晶體取向進行高分辨FIB-SEM層析成像的材料表征手段
- 通過二次離子成像進行腐蝕生長學的研究
- 特定應用下的TEM薄片的樣品制備
生命科學
- 低電子束能量下生物樣品未鍍膜狀態(tài)的觀察
- 高度集中區(qū)域的高分辨FIB層析成像分析標本動物嵌入樹脂或植物組織和細胞的獨特三維結(jié)構信息
- 動物和植物組織的超微結(jié)構分析的TEM薄片制備
- 亞納米分辨率下的原位TEM樣品觀察
- TOF-MOS的高分辨表面元素分析
- 細胞形態(tài)學的研究，組織工程，微生物學及生物相容性材料的發(fā)展
- 可變壓力模式及易損樣品的冷凍技術成像
- 光電聯(lián)用顯微鏡
- 全液體生物樣品的Cry-FIB-SEM分析
全球支持
在中國和美國有當?shù)刈庸敬鞹ESCAN：
- TESCAN CHINA, Ltd.
- Tescan USA, Inc.
- TESCAN-UK, Ltd.
- TESCAN ORSAY FRANCE S.A.R.L.
- TESCAN BENELUX
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