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    包郵 關(guān)注:994

    蔡司 掃描電子顯微鏡 EVO MA 10（鎢燈絲）

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-顯微鏡分類-電子顯微鏡

    產(chǎn)品品牌

    蔡司

    庫(kù)       存：

    11

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：蔡司

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-顯微鏡分類-電子顯微鏡

     特點(diǎn)：
    1、EVO MA10 的束流范圍為0.5pA – 5uA，而其他廠商鎢燈絲掃描電鏡最束流大僅為2uA
    2、智能化系統(tǒng)能夠自動(dòng)完成光路對(duì)中、調(diào)節(jié)放大倍率、聚焦和載物臺(tái)移動(dòng)
    3、系統(tǒng)會(huì)根據(jù)所選樣品設(shè)置最佳的成像條件
    4、在低電壓下，可利用高分辨背散射電子探測(cè)器實(shí)現(xiàn)具有清晰襯度的表面細(xì)節(jié)成像
    5、針對(duì)電子束敏感樣品或樣品表面形貌分析，電子束減速技術(shù)能夠在低加速電壓下提供更高的分辨率及更大的探針電流
    6、通過(guò) EVO HD 將高分辨電子束技術(shù)引入傳統(tǒng)掃描電鏡，進(jìn)一步增強(qiáng)圖像襯度和提升分辨率控制
     
    技術(shù)指標(biāo)：
    1、分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)、4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 
    2、加速電壓：0.2—30KV 
    3、放大倍數(shù)：7—1000000x 
    4、探針電流：0.5PA-5μA
    5、X-射線分析工作距離：8.5mm， 35度接收角 
    6、低真空壓力范圍：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)
    7、工作室：310mm(φ)×220mm(h) 
    8、5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái)：X=80mm  Y=100mm  Z=35mm  T=0-90°R=360°
    9、最大試樣高度：100mm，最大試樣直徑：200mm 
     

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    提問(wèn):
     

    設(shè)備的分辨率、放大率怎么樣??？

    sdmm  2017-08-11

    答

     放大可以到10萬(wàn)倍，分辨率1.9nm

    2017-08-16

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