特點：
1、EVO MA10 的束流范圍為0.5pA – 5uA，而其他廠商鎢燈絲掃描電鏡最束流大僅為2uA
2、智能化系統(tǒng)能夠自動完成光路對中、調(diào)節(jié)放大倍率、聚焦和載物臺移動
3、系統(tǒng)會根據(jù)所選樣品設置最佳的成像條件
4、在低電壓下，可利用高分辨背散射電子探測器實現(xiàn)具有清晰襯度的表面細節(jié)成像
5、針對電子束敏感樣品或樣品表面形貌分析，電子束減速技術(shù)能夠在低加速電壓下提供更高的分辨率及更大的探針電流
6、通過 EVO HD 將高分辨電子束技術(shù)引入傳統(tǒng)掃描電鏡，進一步增強圖像襯度和提升分辨率控制
技術(shù)指標：
1、分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)、4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
2、加速電壓：0.2—30KV
3、放大倍數(shù)：7—1000000x
4、探針電流：0.5PA-5μA
5、X-射線分析工作距離：8.5mm， 35度接收角
6、低真空壓力范圍：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)
7、工作室：310mm(φ)×220mm(h)
8、5軸優(yōu)中心自動樣品臺：X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°
9、最大試樣高度：100mm，最大試樣直徑：200mm
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