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    Wafer厚度測量設(shè)備

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-測厚設(shè)備-非接觸式測厚儀

    產(chǎn)品品牌

    Effecttek易泛特

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    中國-廣東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：Effecttek易泛特

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-測厚設(shè)備-非接觸式測厚儀

    型號 ETM-1200
    外觀尺寸 760*500*500mm
    X、Y測量行程 200*200mm
    Z軸可調(diào)行程 1.6-100mm
    有效測量范圍 160*160mm
    掃描最少步距 1μm
    光斑直徑 18~30um
    橫向分辨率 9~15um
    檢測重復(fù)精度 0.1μm
    精度 ≤1um
    線性度 ?0.1%
    軸向分辨率 30nm
    與表面角度 90°±2°
    測量厚度范圍 10~2900um
    適應(yīng)材質(zhì) Si(硅)、Doped-Si(涂層硅)、SiC(碳化硅)、Sapphire(藍寶石)、GaAs(砷化鎵)、Glass(玻璃)、GaN(氮化鎵)  
    測量原理 紅外光干涉
    電源 AC220V±10%
    重量 300kg
    噪音 30db
    工作環(huán)境 AC220V±10%


    柏先生/18929339897
    Jeff@effecttek.com
    易泛特技術(shù)（深圳）有限公司
    深圳市寶安區(qū)新橋街道匯聚新橋107創(chuàng)智園B207



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