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非接觸式測厚儀介紹:
是一款高性能高精密的測量儀器,可以不接觸樣品表面進(jìn)行厚度測量。這種方式可以避免接觸測量引起的表面損傷,特別適用于軟脆材料及對(duì)樣品表面質(zhì)量高要求的測量.該儀器能非常理想的用于半導(dǎo)體、光學(xué)及電光材料厚度的測量應(yīng)用。
功能:
在線實(shí)時(shí)測量監(jiān)控、數(shù)字顯示。
設(shè)備原理:
采用無污染氣脈沖測量法,通過氣脈沖,在晶圓表面形成均勻氣膜,對(duì)被測物進(jìn)行非接觸、無損傷厚度測量,采樣速度快精度高,性能穩(wěn)定,操作簡單。
技術(shù)參數(shù):
測量臂帶細(xì)調(diào)功能
測量范圍:0-180毫米
厚度范圍0~500mm(或可按要求設(shè)定范圍)
樣品尺寸:8英寸及以下尺寸
讀數(shù)精度:0.1um
測量精度:1um
適用范圍:
適用于半導(dǎo)體材料的測量,如:磷化銦、碲鋅鎘、砷化鎵、藍(lán)寶石、硅片等,其他材料:陶瓷片、薄膜、高度拋光表面樣件等。
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