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Xper-IP激光干涉膜厚測(cè)量?jī)x

Xper-IP是基于Nanobase公司特有的光譜干涉技術(shù)的一款激光干涉膜厚儀，是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。Xper-IP可用于測(cè)量各種材料（如各種薄膜，鍍膜，顯示面板等）的絕對(duì)厚度。

薄膜測(cè)厚儀，激光干涉儀，膜厚測(cè)量?jī)x，激光干涉薄膜測(cè)量系統(tǒng)

韓國(guó)Nanobase公司是一家專注于激光和光譜測(cè)量領(lǐng)域的高科技公司，旗下有多種產(chǎn)品，包括拉曼光譜成像系統(tǒng)，OCT光學(xué)相干斷層掃描系統(tǒng)，可調(diào)諧激光器和激光干涉薄厚測(cè)量?jī)x。

Xper-IP正是基于Nanobase特有的光譜干涉技術(shù)的一款膜厚測(cè)量?jī)x，是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量設(shè)備。Xper-IP可用于測(cè)量各種材料（如各種薄膜，鍍膜，顯示面板等）的絕對(duì)厚度，產(chǎn)品具有以下特點(diǎn)：

絕對(duì)精度 ±0.2 %

重復(fù)準(zhǔn)度 ±0.003 %

超寬測(cè)量范圍 10 mm to 1 mm

人性化軟件，易于使用

性價(jià)比高

同時(shí)測(cè)量多層膜厚

結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，適用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境

參數(shù)

型號(hào)	Xper-ITP（激光干涉測(cè)厚）	Xper-ISP（激光干涉測(cè)表面形貌）
測(cè)量范圍	100-1000微米，200-2000微米，(或者定制波長(zhǎng)范圍，與光譜儀分辨率成反比)
準(zhǔn)確度	±0.2 %
重復(fù)性	單點(diǎn)：0.01% full range（<100nm）平均：0.003% full range（<30nm）
速度	激光：標(biāo)準(zhǔn)30pps，（最大100，000pps）
光源	激光：SLD(840nm)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體，太陽能，SiC Coat, Si Coat, Polished Si, Optical disk

平板顯示，Cell gap, Glass thickness, DLC, Highfunction film

光學(xué)薄膜，醫(yī)用聚合物材料等，AR film, PET, Coating layer, Coating film, Evaporation film, Functionality film, Acrylic resin, Video head, etc.

激光干涉膜厚測(cè)量?jī)x Xper-IP激光干涉膜厚測(cè)量?jī)x 上海昊量

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