AJA International的ATC Orion系列磁控濺射系統(tǒng)是ATC Flagship旗艦系列下的一款高性價(jià)比的緊湊型物理氣相沉積設(shè)備。Orion系列的高真空和超高壓真空濺射系統(tǒng)都沿用了許多ATC濺射系統(tǒng)的成熟設(shè)計(jì)和通用配件。標(biāo)準(zhǔn)的ATC Orion部件（腔體，框架，集群法蘭等）一般都有現(xiàn)貨，因此我們能夠有效縮短設(shè)備交貨時(shí)間。
Orion 8有一款特殊設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，可以集成4個(gè)2"磁控濺射靶源，可原位偏轉(zhuǎn)。ATC Orion系列濺射系統(tǒng)可以輕易相互連接，或是連接其他ATC系統(tǒng)，集成多腔（如，金屬/氧化物）或多功能混合系統(tǒng)（如，濺射/蒸發(fā)/PLD/離子束刻蝕）。
主要特點(diǎn)
l 經(jīng)濟(jì)型臺式濺射系統(tǒng)
l 可集成5個(gè)1.5英寸共濺射靶
l 向上或向下濺射
l 沉積均勻性+/-2.5% @ 3" (75mm)基片
l 選配load-lock預(yù)真空室
l 基片加熱溫度850C，旋轉(zhuǎn)速率0-40rpm，直流和射頻偏壓，50mmZ軸可調(diào)工作距離
l 真正的共焦沉積系統(tǒng)，滿足單層和多層薄膜沉積應(yīng)用
l 可集成4路MFC氣路，可進(jìn)行反應(yīng)濺射
l 計(jì)算機(jī)控制或半自動控制
l 高真空或超高真空
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