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    包郵 關(guān)注:786

    濺射臺(tái)SRH-420

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    ULVAC

    庫(kù)       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:ULVAC

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-磁控濺射機(jī)

    極限壓強(qiáng):成膜室 6.7*10-5Pa
    設(shè)備構(gòu)成:1個(gè)L/LU室+最多3個(gè)工藝室
    濺射方向:向下濺射
    基板尺寸:直徑100-200mm
    排氣系統(tǒng):LL室,刻蝕室,分子泵,成膜室,低溫泵
    控制系統(tǒng):PC觸摸式操作屏
    搬送系統(tǒng):多腔體方式
    選購(gòu)件:基板加熱單元,基板冷卻單元,刻蝕單元,多陰極單元
    所需氣體:Ar、氮?dú)狻⒏杀糜玫獨(dú)?,壓?.5MPa

    詳情可咨詢:www.yjyco.cn

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    提問:
     

    請(qǐng)問設(shè)備使用的靶材是平面型的還是輥型的?靶材的利用率能達(dá)到67%嗎?

    dfft  2017-08-03

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    服務(wù)熱線

    4006988696

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