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    包郵 關(guān)注:685

    URE-2000/35型紫外光刻機-單面

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機

    產(chǎn)品品牌

    國產(chǎn)-中科院

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：國產(chǎn)-中科院

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機

     

    URE-2000/35型紫外光刻機-單面 
    URE-2000-35 型紫外光刻機-單面


    主要技術(shù)指標(biāo)：

    曝光面積：100mm×100mm

    分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

    對準(zhǔn)精度：±0.8μm

    最大膠厚：300μm（SU8膠）

    掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

    樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；

    照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）

    汞燈功率：350W（直流）

    掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°



    技術(shù)特點：

    創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

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