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4001027270
產(chǎn)品名稱：URE-2000S/A型紫外光刻機 |
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主要技術(shù)指標： |
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| 曝光面積：150mm×150mm | ||
| 分辨力：1μm（膠厚1.5 μm的正膠） | ||
| 對準精度：±3μm（雙面） | ||
| 最大膠厚：500μm（SU8膠） | ||
| 掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch | ||
| 樣片尺寸：直徑Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm) | ||
| 照明均勻性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm) | ||
| 汞燈功率：1000W（直流） | ||
| 掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° | ||
技術(shù)特點： |
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| 該機采用國內(nèi)首創(chuàng)的CCD圖像底面對準技術(shù)，單曝光頭正面曝光實現(xiàn)雙面對準的總體設計技術(shù)。采用新穎的高精度、多自由度掩模—樣片精密對準工件臺結(jié)構(gòu)設計，掩模—樣片對準過程直觀，套刻對準速度快、精度高。掩模板與樣片的放置采用推拉式基準平板、真空吸附式，操作方便。 | ||
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